[发明专利]一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置

说明书

本发明公开了一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室、放电室两端套接的法兰盘电极与放电室外圆上套配的环形电极，所述放电室的主体为圆柱形管状结构，且在绝缘套的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极，所述放电室的左右两端分别套接有圆盘状结构的法兰盘电极；通过将法兰盘电极作为放电的一极，环形电极作为另一极电极，使两个电极在放电室内形成三维放电，进而使整个放电室内的放电更为均衡；通过将两个法兰盘设为同一电极，将两个环形电极设为另一极电极，成倍的增加了整个电极的表面积，进而使放电室内的有效放电空间面积成倍增加，提高了整个放电室的空间利用率。

技术领域

本发明涉及等离子体放电装置技术领域，具体为一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置。

背景技术

等离子体表面处理已逐步在半导体制造、微电子封装、集成电路等行业普遍应用。所谓的等离子体表面处理，就是利用等离子体通过化学或物理作用时对工件表面进行处理，实现分子水平的表面清洗、粗化、改性，改变表面性状的工艺。

常规的圆腔体等离子体表面处理装置的放电方式是采用在射频电源下，圆形绝缘腔体外包裹着多个环形电极，各电极分别与相邻的电极启辉放电，而处理对象放置于圆柱状腔室内，在辉光放电的作用下，达到表面清洗的目的，这是目前常用的圆腔体等离子清洗装置的电极放置方式，但它在实际使用的过程中仍存在以下弊端：

1.由于电极板的结构以及处理对象的差异性等因素，两个环形电极板之间会存在放电不均的现象；

2.两电极板之间的放电腔体的有效放电空间有限，因此整个圆腔体的空间利用率低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室、放电室两端套接的法兰盘电极与放电室外圆上套配的环形电极，所述放电室的主体为圆柱形管状结构，且在放电室的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极，所述放电室的左右两端分别套接有圆盘状结构的法兰盘电极，所述法兰盘电极的内侧设有与放电室的两端相套配的环形结构的内固定槽口，且在法兰盘电极的外侧设有环形结构的外固定槽口；

所述两个法兰盘电极分别与同一极电极电性相连，且两个环形电极均与另一极电极电性相连。

优选的，所述环形电极的主体为环形板状结构的电极板，所述电极板的首尾相邻，且在电极板的首尾处分别固定连接有两个向外沿伸锁紧板，所述锁紧板通过螺栓组I相固定连接在一起。

优选的，所述放电室的主体为圆柱形管状结构的绝缘管，且在绝缘管外侧所套装有弹性绝缘套。

优选的，所述且在外固定槽口内并且在两个法兰盘电极中间固定套装有支撑架，所述支撑架的左右两侧设有与外固定槽口相套配的环形结构的固定环，且在固定环的中下方水平设有桥状结构的水平撑，所述水平撑的上端并且在两个固定环之间通过螺栓固定安装有板状结构的放料板。

优选的，所述法兰盘电极的外侧面上嵌配有密封环，所述放电室前端法兰盘电极的外侧铰接有密封门，且在放电室后端法兰盘电极的外侧通过螺栓固定连接有封盖。

优选的，所述放电室的前后两端并且在法兰盘电极的下端设有固定座，所述固定座的下端设有板状结构的支撑板，且在支撑板的上端设有与法兰盘电极的外圆相贴合的圆弧形凸台结构的支撑块。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明结构设置合理，功能性强，具有以下优点：

1.通过将法兰盘电极作为放电的一极，环形电极作为另一极电极，使两个电极在放电室内形成三维放电，进而使整个放电室内的放电更为均衡；