[发明专利]转移装置及其清洁方法

权利要求书

1.一种转移装置，包括：

转移室，用于放置半导体晶片；

真空系统，用于吸取所述转移室内的颗粒，设置在所述转移室下方，所述真空系统包括连通所述转移室的抽气管；和

热电装置，设置在所述抽气管上；

其特征在于，所述热电装置包括一冷却装置和一监测装置；

所述冷却装置设置在所述转移室下方并用于冷却所述转移室，所述转移室中被冷却的颗粒掉落至所述转移室下部，所述冷却装置包括多个帕尔帖元件和一多边形壳体，所述多边形壳体设置在所述抽气管上，所述多个帕尔帖元件设置在所述多边形壳体上；

所述监测装置设置在所述冷却装置上并连通所述抽气管，所述监测装置用于检测所述转移室内的颗粒浓度；

当检测的颗粒浓度大于或等于一预设值时，所述监测装置发出清洁警报。

2.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述多个帕尔帖元件设置在所述多边形壳体的外表面，并且所述多个帕尔帖元件相互并联或串联；所述多个帕尔帖元件布置成与多边形壳体的外周形状匹配的阵列结构。

3.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述监测装置包括颗粒传感器，所述颗粒传感器用于检测所述抽气管中的颗粒浓度。

4.如权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述颗粒传感器通过一连接管连通所述抽气管，所述抽气管中的样本颗粒进入所述连接管以激发所述颗粒传感器。

5.如权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述监测装置包括温度传感器，所述温度传感器用于检测所述多边形壳体的温度。

6.如权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述监测装置包括警报装置，所述颗粒传感器与所述警报装置电连接，当所述颗粒传感器检测的颗粒浓度大于或等于所述预设值时，所述警报装置发出清洁提示信息。

7.一种转移装置，包括：

转移室，用于放置半导体晶片；

真空系统，用于吸取所述转移室内的颗粒，设置在所述转移室下方，所述真空系统包括连通所述转移室的抽气管；和

热电装置，设置在所述抽气管上；

其特征在于，所述热电装置包括一冷却装置和一监测装置；

所述冷却装置设置在所述转移室下方并用于冷却所述转移室，所述转移室中被冷却的颗粒掉落至所述转移室下部，所述冷却装置包括多个帕尔帖元件，所述抽气管为六边形管道，所述多个帕尔帖元件设置在所述抽气管的外表面；

所述监测装置设置在所述冷却装置上并连通所述抽气管，所述监测装置用于检测所述转移室内的颗粒浓度，所述监测装置通过一连接管连通所述抽气管；

当检测的颗粒浓度大于或等于一预设值时，所述监测装置发出清洁警报。

8.一种清洁方法，用于清洁权利要求1-6中任一项所述的转移装置中的转移室，其特征在于，所述清洁方法包括：

传送机构移动晶片至转移室；

冷却装置中的多个帕尔帖元件冷却所述转移室，所述冷却装置位于所述转移室下方，所述转移室中的颗粒被冷却并落到所述转移室的下部；

真空系统从所述转移室中抽取颗粒，所述真空系统位于所述转移室下方；

监测装置检测所述转移室内的颗粒浓度；

当所述监测装置测得的颗粒浓度大于或等于一预设值时，所述监测装置发出一警报信号；

警报装置根据所述警报信号发送清洁提示信息。

9.如权利要求8所述的清洁方法，其特征在于，所述清洁方法还包括：

所述监测装置检测所述真空系统中抽气管的温度；

当所述监测装置测得的抽气管的温度大于或等于一预设值时，所述监测装置发送一高温信号至所述警报装置。