[发明专利]一种同步驱动PCVD沉积炉装置

权利要求书

1.一种同步驱动PCVD沉积炉装置，其特征在于，包括炉子、升降组件、开合组件和框架，所述升降组件设置在所述框架上，所述升降组件连接并驱动所述开合组件上下移动，所述开合组件包括第一安装板、固定在所述第一安装板上的第一电机和第一丝杠，所述开合组件还包括直角减速机和与所述直角减速机连接的传动轴，所述第一丝杠连接在所述传动轴上，所述第一电机输出端连接并驱动所述直角减速机进而带动所述传动轴转动，所述第一丝杠的第一丝杠轴在所述传动轴带动下向上或向下运动，所述炉子具有固定部和转动连接在所述固定部上的一对开合部，所述固定部与所述第一丝杠轴固定，一对所述开合部分别通过销轴组件与所述第一安装板连接，所述第一丝杠轴带动固定部向上或向下运动时，一对所述开合部彼此分离打开或聚拢闭合。

2.根据权利要求1所述的同步驱动PCVD沉积炉装置，其特征在于，所述升降组件包括第二安装板、第二电机、第二丝杠和传动带轮，所述第二安装板固定在所述框架上，所述第二丝杠固定在所述第二安装板上，所述传动带轮两端分别连接所述第二电机输出端和所述第二丝杠主动端，所述第二丝杠从动端与所述第一安装板固定，所述第二电机通过所述传动带轮驱动所述第二丝杠的从动端向上或向下运动。

3.根据权利要求2所述的同步驱动PCVD沉积炉装置，其特征在于，所述第二电机为伺服电机，所述第二丝杠为梯形丝杠。

4.根据权利要求2所述的同步驱动PCVD沉积炉装置，其特征在于，所述传动带轮包括传动带和分别设置在所述传动带两端的一对传动轮，所述第二丝杠包括第二丝杠轴和固定在所述第二丝杠轴顶端的丝杠螺母，一对所述传动轮分别与所述第二电机输出端和所述丝杠螺母连接，所述第二电机通过所述传动带轮带动所述丝杠螺母转动，转动的丝杠螺母带动所述第二丝杠轴向上或向下运动。

5.根据权利要求2所述的同步驱动PCVD沉积炉装置，其特征在于，所述第二电机为刹车电机。

6.根据权利要求2所述的同步驱动PCVD沉积炉装置，其特征在于，所述第二电机连接有变频器，所述变频器控制所述第二电机转速使所述开合组件向下运动时先快后慢、向上运动时先慢后快。

7.根据权利要求1所述的同步驱动PCVD沉积炉装置，其特征在于，所述第一丝杠为涡轮丝杠。

8.根据权利要求1所述的同步驱动PCVD沉积炉装置，其特征在于，所述框架上竖直设有滑轨，所述第一安装板上固定有滑块，所述升降组件连接并驱动所述开合组件上下移动时，所述滑块沿所述滑轨运动。

9.根据权利要求8所述的同步驱动PCVD沉积炉装置，其特征在于，所述滑轨具有一对，彼此平行固定在所述框架上。

10.根据权利要求1所述的同步驱动PCVD沉积炉装置，其特征在于，所述销轴组件包括轴杆和一对转动接头，一对所述转动接头分别固定在所述开合部和第一安装板上，所述轴杆两端分别与一对所述转动接头转动连接。