[发明专利]加热装置及化学气相沉积系统

权利要求书

1.一种加热装置，包括：

承载台，具有公转轴；

多个载盘，设置于所述承载台上，其中所述承载台带动所述多个载盘以所述公转轴为中心而公转；

多个第一加热器，设置于所述承载台下，并定义出第一加热区，任两相邻的所述多个第一加热器之间具有第一间距，其中各所述第一加热器在所述公转轴的径向上具有第一宽度；以及

至少一第二加热器，设置于所述承载台下，并定义出第二加热区，其中所述第二加热器在所述公转轴的径向上具有第二宽度，所述第二加热区与所述第一加热区之间具有最小间距，且所述最小间距不等于所述第一间距，所述第一宽度等于所述第二宽度。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其中所述第一加热区在所述公转轴的径向上具有径向宽度，所述载盘具有载盘直径，而所述径向宽度与所述载盘直径的比值大于0.5且小于1。

3.根据权利要求1所述的加热装置，其中所述第二加热区包括多个第二加热器，任两相邻的所述多个第二加热器之间具有第二间距，且所述第二间距不等于所述第一间距。

4.根据权利要求3所述的加热装置，其中所述多个第一加热器于所述承载台上的垂直投影面积与所述第一加热区于所述承载台上的垂直投影面积的比值不等于所述多个第二加热器于所述承载台上的垂直投影面积与所述第二加热区于所述承载台上的垂直投影面积的比值。

5.根据权利要求1所述的加热装置，其中所述多个第一加热器具有第一温度，所述至少一第二加热器具有第二温度，且所述第一温度不等于所述第二温度。

6.根据权利要求1所述的加热装置，其中各所述载盘于所述承载台上的垂直投影部分重叠于所述第一加热区在所述承载台上的垂直投影，且所述第一加热区于所述载盘上的垂直投影面积与所述载盘的表面积的比值大于等于0.4且小于等于0.9。

7.根据权利要求1所述的加热装置，其中所述多个载盘各自具有对称中心，且所述多个对称中心重叠于所述第一加热区在所述多个载盘上的垂直投影。

8.一种化学气相沉积系统，包括：

腔室；

加热装置，设置于所述腔室内，所述加热装置包括：

承载台，具有公转轴；

多个载盘，设置于所述承载台上，其中所述承载台带动所述多个载盘以所述公转轴为中心而公转；

多个第一加热器，设置于所述承载台下，并定义出第一加热区，任两相邻的所述多个第一加热器之间具有第一间距，其中各所述第一加热器在所述公转轴的径向上具有第一宽度；以及

至少一第二加热器，设置于所述承载台下，并定义出第二加热区，其中所述第二加热器在所述公转轴的径向上具有第二宽度，所述第二加热区与所述第一加热区之间具有最小间距，且所述最小间距不等于所述第一间距，所述第一宽度等于所述第二宽度；旋转驱动机构，连接所述承载台并带动所述承载台旋转；以及

进气单元，设置于所述腔室内并位于所述承载台上。

9.根据权利要求8所述的化学气相沉积系统，其中所述第一加热区在所述公转轴的径向上具有径向宽度，所述载盘具有载盘直径，而所述径向宽度与所述载盘直径的比值大于0.5且小于1。

10.根据权利要求8所述的化学气相沉积系统，其中所述第二加热区包括多个第二加热器，任两相邻的所述多个第二加热器之间具有第二间距，且所述第二间距不等于所述第一间距。

11.根据权利要求10所述的化学气相沉积系统，其中所述多个第一加热器于所述承载台上的垂直投影面积与所述第一加热区于所述承载台上的垂直投影面积的比值不等于所述多个第二加热器于所述承载台上的垂直投影面积与所述第二加热区于所述承载台上的垂直投影面积的比值。

12.根据权利要求8所述的化学气相沉积系统，其中所述多个第一加热器具有第一温度，所述至少一第二加热器具有第二温度，且所述第一温度不等于所述第二温度。