[发明专利]蒸镀坩埚、蒸镀系统及蒸镀OLED的方法

权利要求书

1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：

外坩埚，具有一第一通孔；

内坩埚，内嵌于所述外坩埚中，具有一第二通孔；

喂料口，设于所述内坩埚与所述外坩埚之间，且连通所述第一通孔以及所述第二通孔；

其中，所述喂料口具有一缓冲槽，其截面形状包括弧形或折线形，用以放置金属固体辅材。

2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，

所述外坩埚的材料包括陶瓷。

3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，

所述内坩埚的材料包括陶瓷。

4.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，

所述喂料口由金属材料制成，且熔点高于铝。

5.一种蒸镀系统，其特征在于，包括如权利要求1所述的蒸镀坩埚，所述蒸镀系统还包括一喷嘴以及抽真空组件；其中所述喷嘴设置于所述蒸镀坩埚的上方，用来喷射由所述蒸镀坩埚产生的蒸气；所述抽真空组件与所述喷嘴相连接，能够将所述蒸镀坩埚内部抽成真空。

6.根据权利要求5所述的蒸镀系统，其特征在于，

还包括一加热装置，能够加热所述蒸镀坩埚。

7.根据权利要求6所述的蒸镀系统，其特征在于，

所述加热装置为涡流加热装置。

8.一种蒸镀OLED的方法，其特征在于，包括：

提供一OLED基板以及如权利要求7所述的蒸镀系统；

将所述抽真空组件与所述喷嘴相连接，将所述蒸镀坩埚的内部抽成真空；

放入金属固体主材至所述内坩埚中；

加热所述金属固体主材变为金属液体主材；

将所述喷嘴对准所述OLED基板进行蒸镀；

放入金属固体辅材至所述喂料口中；

加热所述金属固体辅材变为金属液体辅材；

所述金属液体辅材通过所述第二通孔流向所述内坩埚中；

继续蒸镀所述OLED基板至蒸镀结束。