[发明专利]一种平面波导阵列光栅解复用器的测试制具及其测试方法

权利要求书

1.一种平面波导阵列光栅解复用器的测试制具, 其特征在于：包括底座（1）、竖直挡板（2）、三维调节架（10）、吸附组件和负压组件，所述竖直挡板（2）设置在所述底座 （1）上，所述竖直挡板（2）的上端朝向所述三维调节架（10）的一侧设有用于固定高速光功率计（13）的定位治具（12），所述三维调节架（10）滑动设置在所述底座（1）上并位于所述竖直挡板（2）的一侧，且当所述三维调节架（10）滑动至与所述竖直挡板（2）接触设置时，所述吸附组件将所述三维调节架（10）与所述竖直挡板（2）连接固定，且所述定位治具（12）恰好悬空位于所述三维调节架（10）的正上方，所述三维调节架（10）的上表面设有真空吸附治具（11），所述真空吸附治具（11）的上表面设有用于容纳待测平面波导阵列光栅解复用器（14）的条形槽（1102），且所述条形槽（1102）内靠近待测平面波导阵列光栅解复用器（14）的反射区（1401）的一端底壁与所述负压组件连通。

2.根据权利要求1所述的平面波导阵列光栅解复用器的测试制具, 其特征在于：所述底座（1）上位于所述竖直挡板（2）的一侧设有导轨（3），所述导轨（3）靠近所述竖直挡板（2）的一端与所述竖直挡板（2）接触设置，所述导轨（3）上滑动设有滑块（8），所述三维调节架（10）设置在所述滑块（8）上，且所述滑块（8）可带动所述真空吸附治具（11）沿着所述导轨（3）滑动，以靠近或远离所述竖直挡板（2）。

3.根据权利要求2所述的平面波导阵列光栅解复用器的测试制具, 其特征在于：所述底座（1）上沿着所述滑块（8）的滑动方向间隔设有用于对所述滑块（8）的形成进行限位的限位柱（4）。

4.根据权利要求3所述的平面波导阵列光栅解复用器的测试制具, 其特征在于：当所述滑块（8）滑动至与靠近所述竖直挡板（2）一侧的所述限位柱（4）接触时，所述三维调节架（10）恰好与所述竖直挡板（2）接触。

5.根据权利要求1所述的平面波导阵列光栅解复用器的测试制具, 其特征在于：所述吸附组件包括定位柱（5）和磁铁（9），所述定位柱（5）和磁铁（9）分别设置在所述竖直挡板（2）和所述三维调节架（10）彼此相互靠近一侧表面，且所述三维调节架（10）滑动至与所述竖直挡板（2）接触时，所述磁铁（9）与定位柱（5）接触并吸附连接。

6.根据权利要求1所述的平面波导阵列光栅解复用器的测试制具, 其特征在于：所述条形槽（1102）内靠近所述反射区（1401）的一端延伸至所述真空吸附治具（11）的上表面中心位置处，且所述条形槽（1102）内靠近所述反射区（1401）的一端底壁与所述负压组件连通，另一端延伸至所述真空吸附治具（11）一侧侧壁。

7.根据权利要求6所述的平面波导阵列光栅解复用器的测试制具, 其特征在于：所述真空吸附治具（11）的一侧侧壁上设有气管接口（1101），且所述条形槽（1102）内靠近所述反射区（1401）的一端底壁上设有至少一个与所述气管接口（1101）连通的通孔，所述气管接口（1101）与所述负压组件连通。

8.根据权利要求1-7任一项所述的平面波导阵列光栅解复用器的测试制具, 其特征在于：所述负压组件包括真空发生器（6）和减压阀（7），所述减压阀（7）的输入端接入压缩空气，所述减压阀（7）输出端与所述真空发生器（6）的输入端连通，所述真空发生器（6）的输出端与所述条形槽（1102）内靠近所述反射区（1401）的另一端底壁连通。

9.根据权利要求8所述的平面波导阵列光栅解复用器的测试制具, 其特征在于：所述底座（1）远离所述竖直挡板（2）的一侧设有让位孔，所述真空发生器（6）设置在所述底座（1）的下方，且所述真空发生器的操作旋钮从所述让位孔向上伸出，所述减压阀（7）设置在所述竖直挡板（2）的上端并位于远离所述三维调节架（10）的一侧。

10.一种如权利要求1-9任一项平面波导阵列光栅解复用器的测试制具的测试方法,其特征在于，包括如下步骤：

S1：将所述三维调节架（10）滑动至与所述竖直挡板（2）接触，并通过所述吸附组件将二者连接固定；

S2：调节所述三维调节架（10），使得所述真空吸附治具（11）中心轴线和固定在所述定位治具（12）上的高速光功率计（13）的光敏面竖向共轴线设置；

S3:打开所述负压组件，并调节所述负压组件的输出气压值设定范围；

S4：将所述三维调节架（10）向远离所述竖直挡板（2）一侧滑动，将待测平面波导阵列光栅解复用器（14）的芯片（1402）置于所述条形槽（1102）中，并使其反射区（1401）位于高速光功率计（13）的下方；

S5:将待测平面波导阵列光栅解复用器（14）的适配器（1403）和外部测试光路的连接头连接，并将所述三维调节架（10）滑动至与所述竖直挡板接触，并进行测试；

S6：将所述三维调节架（10）滑动至向远离所述竖直挡板（2）一侧滑动，关闭所述负压组件，并取出平面波导阵列光栅解复用器（14），结束测试流程。