[发明专利]镀膜机离子源总装

权利要求书

1.镀膜机离子源总装，其特征在于：包括壳体(1)和安装在壳体(1)上的离子源(2)，壳体(1)为长方体结构，壳体一面开口、具有容纳腔，离子源(2)位于所述壳体(1)的容纳腔内，离子源(2)的上端和下端各设有一个安装柱(11)，安装柱(11)穿过壳体(1)，离子源(2)通过两个安装柱(11)架设在壳体(1)上，壳体(1)侧面上设有安装翼，所述开口一端沿着开口一周设有密封台。

2.根据权利要求1所述的镀膜机离子源总装，其特征在于：安装翼包括至少一个第一安装翼(3)和至少一个第二安装翼(4)，第一安装翼(3)和第二安装翼(4)分别布置在所述开口的两侧。

3.根据权利要求2所述的镀膜机离子源总装，其特征在于：第一安装翼(3)设有两个，第二安装翼(4)设有两个，第一安装翼(3)的面积小于第二安装翼(4)的面积。

4.根据权利要求1所述的镀膜机离子源总装，其特征在于：所述开口一端沿着开口一周设有密封台(8)，沿着密封台(8)围设一周密封棉或密封橡胶。

5.根据权利要求1所述的镀膜机离子源总装，其特征在于：离子源(2)的两个安装柱(11)一端活动连接离子源(2)，另一端穿过壳体(1)的壁面。

6.根据权利要求5所述的镀膜机离子源总装，其特征在于：安装柱(11)为中空的，安装柱(11)内设有铰接杆(12)，铰接杆一端铰接离子源(2)，另一端通过中空的安装柱(11)。

7.根据权利要求1所述的镀膜机离子源总装，其特征在于：壳体(1)容纳腔的顶面和底面分别安装有一个限位座(10)，限位座(10)固定安装在壳体(1)容纳腔的壁面上，限位座(10)上设有弧形的通孔，离子源(2)的顶面和底面各设有一个限位销，离子源(2)转动时，限位销在所述弧形的通孔内滑动，使离子源(2)的只能在一定范围内转动。

8.根据权利要求7所述的镀膜机离子源总装，其特征在于：离子源(2)的第一电源端(6)和第二电源端(7)位于壳体(1)容纳腔的外部，第一电源端(6)和第二电源端(7)的一端连接离子源(2)，另一端位于壳体(1)容纳腔的外部，用于连接外部电源。

9.根据权利要求1所述的镀膜机离子源总装，其特征在于：壳体(1)上还开设有至少一个抽真空孔(5)、辅助孔(9)，抽真空孔(5)和辅助孔(9)不使用时处于密封状态。