[发明专利]一种测试正性光刻胶UV比的方法在审

专利信息
申请号: 201911086204.0 申请日: 2019-11-08
公开(公告)号: CN112378872A 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 马阳阳;张月;张东宏 申请(专利权)人: 陕西彩虹新材料有限公司
主分类号: G01N21/33 分类号: G01N21/33;G01N1/38
代理公司: 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 代理人: 段宇
地址: 712021 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 测试 光刻 uv 方法
【权利要求书】:

1.一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,将正性光刻胶加入溶剂中,制得待测样品,根据空白基底得到稀释后的正性光刻胶UV曲线,计算UV比值,得到正性光刻胶中树脂与感光剂的含量比。包括以下步骤:

S1)、用溶剂作为空白基底,校正仪器;

S2)、用微量注射器缓缓抽取正性光刻胶样品;

S3)、将样品注入用溶剂清洗过的容量瓶中,定容,振荡均匀;

S4)、试料清洗比色皿以后,倒入试料至比色皿刻度线,并擦拭比色皿表面;

S5)、将比色皿装入样品架,开始测定UV吸光度;

S6)、读取数据,计算UV比。

2.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述空白基底为丙二醇甲醚醋酸酯。

3.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述的溶剂是指丙二醇甲醚醋酸酯。

4.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述的校正仪器是读取280nm、350nm处的Abs值,均在于±0.0005之内。

5.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述的正性光刻胶样品用量为34mL。

6.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述的容量瓶容量为50mL。

7.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述的读取数据是280nm和350nm处的Abs值。

8.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述UV比值的计算公式为:UV比=Abs值(280nm)/Abs值(350nm)。

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