[发明专利]一种测试正性光刻胶UV比的方法在审
申请号: | 201911086204.0 | 申请日: | 2019-11-08 |
公开(公告)号: | CN112378872A | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 马阳阳;张月;张东宏 | 申请(专利权)人: | 陕西彩虹新材料有限公司 |
主分类号: | G01N21/33 | 分类号: | G01N21/33;G01N1/38 |
代理公司: | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人: | 段宇 |
地址: | 712021 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测试 光刻 uv 方法 | ||
1.一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,将正性光刻胶加入溶剂中,制得待测样品,根据空白基底得到稀释后的正性光刻胶UV曲线,计算UV比值,得到正性光刻胶中树脂与感光剂的含量比。包括以下步骤:
S1)、用溶剂作为空白基底,校正仪器;
S2)、用微量注射器缓缓抽取正性光刻胶样品;
S3)、将样品注入用溶剂清洗过的容量瓶中,定容,振荡均匀;
S4)、试料清洗比色皿以后,倒入试料至比色皿刻度线,并擦拭比色皿表面;
S5)、将比色皿装入样品架,开始测定UV吸光度;
S6)、读取数据,计算UV比。
2.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述空白基底为丙二醇甲醚醋酸酯。
3.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述的溶剂是指丙二醇甲醚醋酸酯。
4.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述的校正仪器是读取280nm、350nm处的Abs值,均在于±0.0005之内。
5.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述的正性光刻胶样品用量为34mL。
6.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述的容量瓶容量为50mL。
7.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述的读取数据是280nm和350nm处的Abs值。
8.如权利要求1所述的一种测试正性光刻胶UV比的方法,特征在于,所述UV比值的计算公式为:UV比=Abs值(280nm)/Abs值(350nm)。
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