[发明专利]一种测试正性光刻胶UV比的方法

说明书

本发明公开了一种测试正性光刻胶UV比的方法，特征在于，将正性光刻胶加入溶剂中，制得待测样品，根据空白基底得到稀释后的正性光刻胶UV曲线，计算UV比值，得到正性光刻胶中树脂与感光剂的含量比。包括以下步骤：S1)、用溶剂作为空白基底，校正仪器；S2)、用微量注射器缓缓抽取正性光刻胶样品；S3)、将样品注入用溶剂清洗过的容量瓶中，定容，振荡均匀；S4)、试料清洗比色皿以后，倒入试料至比色皿刻度线，并擦拭比色皿表面；S5)、将比色皿装入样品架，开始测定UV吸光度；S6)、读取数据，计算UV比。整个过程耗时短，试剂浪费少，稀释精准，重复性好。实现了人工高效稀释正性光刻胶样品。

技术领域

本发明涉及一种测试方法，特别涉及一种正性光刻胶UV比的测试方法。

背景技术

光刻胶是一类具有光敏化学作用(或对电子能量敏感)的高分子聚合物材料，又称光致抗蚀剂，是树脂、感光化合物(PAC)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体，另外根据不同要求，还添加一定量的添加剂。树脂经光照后，在曝光区域能很快地发生光化学反应，使得这种材料的物理性能，特别是溶解性、亲合性等发生明显变化，因此在平板显示、集成电路，半导体封装等领域得到了广泛的应用。光刻胶按照如何响应紫外光的特性可以分为正性光刻胶和负性光刻胶，而如何定量反映正性光刻胶中主要成分含量，对于器件的设计，结构优化等有着十分重要的参考意义。测量正性光刻胶UV比的方法为紫外分光光度法，由于有色溶液对光线有选择性的吸收作用，紫外吸收是由不饱和的结构造成的，含有双键的化合物表现出吸收峰，不同物质因其分子结构不同，对不同波长线的吸收能力也不同，每种物质都具有其特异的吸收光谱，因此用被测物质的最大吸收波长处的吸光度的比值代表正性光刻胶中树脂与感光剂的含量比。通常测试正性光刻胶UV比的方法用容量瓶分步稀释，然后进行测量，过程繁琐，并且造成稀释剂的大量浪费。

发明内容

本发明涉及一种测试正性光刻胶UV比的方法，用U-3900紫外分光光度计分别测量空白基底和稀释后的正性光刻胶样品的吸光度，并根据计算公式UV比＝Abs值(280nm)/Abs值(350nm)，可得到正性光刻胶中树脂与感光剂的含量比值。

本发明是对不同量的正性光刻胶原液，将其用丙二醇甲醚醋酸酯进行稀释，通过紫外可见分光光度计测试原液中树脂与感光剂的UV比。为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种测试正性光刻胶UV比的方法，包括以下步骤：

S1)、用溶剂作为空白基底，校正仪器；’

S2)、用微量注射器缓缓抽取正性光刻胶样品；

S3)、将样品注入用溶剂清洗过的容量瓶中，定容，振荡均匀；

S4)、试料清洗比色皿以后，倒入试料至比色皿刻度线，并擦拭比色皿表面；

S5)、将比色皿装入样品架，开始测定UV吸光度；

S6)、读取数据，计算UV比。

本发明的主要有益效果是：

整个过程耗时短，试剂浪费少，稀释精准，重复性好。

实现了人工高效稀释正性光刻胶样品。

附图说明

图1揭示了本发明第一实施例中一种测试正性光刻胶UV比的步骤。

具体实施方式

本发明上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变的更加明显，在附图中相同的附图标记始终表示相同的特征，其中：

参考图1，图1揭示了本发明第一实施例中一种测试正性光刻胶UV比的方法，包括以下步骤：

S1)、用溶剂作为空白基底，校正仪器；’