[发明专利]基于F-P干涉仪的双波长共路相位显微成像测量系统

权利要求书

1.一种基于F-P干涉仪的腔内增强型双波长共路相位显微成像测量系统。其特征是：它由激光光源1、光衰减片2、光纤耦合器(LFC)3、单模光纤4、光纤准直器(FCL)5、扩束镜6、F-P干涉仪7、待测物体8、显微物镜9、CCD探测相机10以及计算机11组成。所述系统中，激光光源1分为两个不同波长的光源1-1和1-2，光源1-1发出的光(波长为λ₁)经由光衰减片2-1后，再通过LFC光纤耦合器3-1将光耦合进单模光纤4-1，光λ₁在光纤中传输至光纤准直器5准直以及扩束镜6扩束后，传输至F-P干涉仪。波长为λ₁的光束在F-P腔内多次反射后，将置于F-P腔内的待测微粒的光程差成倍放大，从而将其相位信息成倍放大后，携带待测微粒信息的透射光传至下方显微物镜9，经过显微物镜传至下方探测相机10，再将得到的待测微粒信号传输至计算机11；随后，再将光源1-2发出的光λ₂经由光衰减片2-2后，再通过LFC光纤耦合器3-2将光耦合进单模光纤4-2，波长为λ₂的光束光纤中传输至光纤准直器5准直以及扩束镜6扩束后，传输至F-P干涉仪。波长为λ₂的光束在F-P腔内多次反射后，再将置于F-P腔内的待测微粒的光程差成倍放大，携带待测微粒信息的透射光传至下方显微物镜9，经过显微物镜传至下方探测相机10，再将得到的待测微粒信号传输至计算机11。计算机11依据通过两波长计算得到合成波长，从而在数值重建中降低散斑噪声，提高精度。

2.根据权利要求1所述的显微成像测量系统，其特征是：所使用的光路系统中的F-P干涉仪作为产生成倍光程差的器件，通过光在F-P腔中的多次反射，每次经过待测微粒多可以成倍增加光程差，从而显著增大干涉条纹的宽度，达到了提高分辨率的目的。

3.根据权利要求1所述的显微成像测量系统，其特征是：系统使用两个波长不同的光源，得到两张波长不同的干涉条纹分布。再通过两个不同波长得到合成波长，合成波长明显短于两个波长，再得到复合全息图。

4.根据权利要求1所述的显微成像测量系统，其特征是：所用波长数量大于等于2。

5.根据权利要求1所述的显微成像测量系统。其特征是：所述的F-P干涉仪，腔体长度不变，待测物体置于腔体中，通过多次反射得到成倍放大的干涉条纹。