[发明专利]基于F-P干涉仪的双波长共路相位显微成像测量系统

说明书

本发明提供的是一种基于F‑P干涉仪的腔内增强型双波长共路相位显微成像测量系统。其特征是：它由激光光源1、光衰减片2、光纤耦合器(LFC)3、单模光纤4、光纤准直器(FCL)5、扩束镜6、F‑P干涉仪7、待测物体8、显微物镜9、CCD探测相机10以及计算机11组成。本发明可用于微小物体的数字全息和折射率测量，可广泛用于各种微小物体的折射率三维显微成像领域。

(一)技术领域

本发明涉及的是一种基于F-P干涉仪的双波长共路相位显微成像测量系统，可用于细胞和各种微小物体内部的折射率三维显微成像，属于光学成像技术领域。

(二)背景技术

显微光学成像，通常也称“光学显微成像”(Optical Microscopy或“光学显微术”(Light Microscopy)，是指透过样品或从样品反射回来的可见光，通过一个或多个透镜后，能够得到微小样品的放大图像的技术。所得图像可以通过目镜直接用眼睛观察，也可以用感光板或数字化图像探测器如电荷耦合器件(CCD)、互补金属氧化物半导体(CMOS)进行记录，还可以在计算机上进行显示和分析处理。

采用明场照明方式的普通光学显微术通常存在三个方面的局限性：一是只能对深色样品(透射型)或强反光样品(反射型)进行成像；二是光学衍射极限限制了该技术的最高分辨率约为200nm；三是离焦信息会降低图像对比度。基于样品中(外源或内源)荧光分子的激发和荧光发射的荧光显微术(Fluorescence Microscopy)，可以突破无法对透明样品成像的局限，但分辨率受限和离焦干扰的问题仍需要采取其他措施才能加以解决。

20世纪30年代，荷兰物理学家泽尼克(Zernike)首次提出了相衬技术，其原理是通过将直射光(即零频光)的相位改变±90°并适当衰减，从而使直射光和衍射光发生干涉而使像平面上的复振幅分布近似正比于物体的相位分布，将“看不见”的相位变化转化为“可见”的强度分布。采用该技术，可以方便地实现对无染色的活细胞样品的直接观察和成像，但其缺点是不适合厚样品和极微小样品。

近年来的数字全息技术由于其能够记录并显示所记录物体的全部信息而被应用于显微成像中，其中专利CN109062018A中公开了一种三波长反射式数字全息显微镜，该数字全息显微镜由三束波长有差别的线偏振光源以及分光棱镜、透镜等组成。其实现的功能是相对于以往的显微成像装置有了较好的图像分辨率，但其系统只使用了反射光作为形成干涉光，无法得到更精确的图像。

专利CN109615651A中公开了一种基于光场显微系统的三维显微成像方法及系统，通过预设算法对光场强度图像和其中所述的第一前向投影矩阵、高分辨率强度图像和第二前向投影矩阵进行三维重建，生成三维样本的三维重建结果。通过增加一路采集光路，实现在同等迭代次数下，增强焦面重建信噪比，光场显微成像的重建效果有很大的提升，但该方法及系统是使用更加优化的算法重建而得到的，依靠的光路结构依然没有变化，并且迭代复杂，难以实现。

专利CN109520988A中公开了一种显微成像系统，隔震平台，可移动的载玻片，成像组件构成。可对不同类型的细胞样本进行高精度检测，但是该系统是依据细胞荧光的原理成像，无法对于其他非细胞微粒及物体成像，适用范围小。

专利CN201710904860.1公开了一种光学相干断层扫描成像系统，该成像系统采用了马赫曾德尔干涉光路，其特点是采用了光纤来简化系统，降低成本，但是相比F-P腔的光路结构，仍然较为复杂。

专利CN201810145657.5公开了一种高分辨率数字全息衍射层析成像，其特点是采用马赫曾德尔干涉光路结构，利用合成孔径方法得到N幅合成高分辨率全息图，进而获得被测样品的高分辨率三维折射率再现。相对来说，结构更为复杂，与本发明专利有着本质区别。

专利CN201910136421.X公开了一种超分辨率数字全息成像系统和成像方法，其成像系统的特点是在传统的马赫曾德尔干涉光路前加入一块透射式空间光调制器，对光源进行调制。与采用F-P腔的光路结构的本发明相比，有着本质区别。