[发明专利]一种飞秒激光微加工方法及装置

权利要求书

1.一种飞秒激光微加工装置，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)内壁上开凿有第一滑槽(101)，所述第一滑槽(101)内部连接有横梁(102)，所述横梁(102)外壁上滑动连接有连接柱(103)，所述连接柱(103)外壁上滑动连接有激光发射组件(104)，所述壳体(1)内壁上还连接有工作台(2)，所述工作台(2)上分别开凿有第一T型槽(201)和第二T型槽(202)，所述工作台(2)内部设置有空腔，所述空腔内部设置有定位夹紧机构，所述定位夹紧机构顶壁上分别连接有第一卡爪(3)和第二卡爪(301)，且所述第一卡爪(3)和第二卡爪(301)分别与第一T型槽(201)和第二T型槽(202)相匹配。

2.根据权利要求1所述的一种飞秒激光微加工装置，其特征在于，所述定位夹紧机构包括固定板(302)，所述固定板(302)固定连接在空腔内部底壁上，所述固定板(302)顶壁上连接有第一转动盘(303)，所述第一转动盘(303)顶壁上分别连接有第一连杆(304)和第二连杆(305)，所述第一连杆(304)和第二连杆(305)远离第一转动盘(303)的一端均转动连接有第一滑板(306)，所述第一卡爪(3)连接在第一滑板(306)顶壁上，所述第一滑板(306)内壁和固定板(302)外壁之间连接有气缸(307)。

3.根据权利要求2所述的一种飞秒激光微加工装置，其特征在于，所述第一转动盘(303)顶壁上连接有连接轴，所述连接轴顶壁上连接有第二转动盘(4)，所述第二转动盘(4)顶壁上分别转动连接有第三连杆(401)和第四连杆(402)，所述第三连杆(401)和第四连杆(402)远离第二转动盘(4)的一端转动连接有第二滑板(403)，且所述第二滑板(403)的顶壁与空腔内部顶壁滑动相连。

4.根据权利要求3所述的一种飞秒激光微加工装置，其特征在于，所述第二滑板(403)顶壁上开凿有第二滑槽(404)，所述第二滑槽(404)内部滑动连接有滑块，所述滑块顶壁上连接有转动轴(405)，所述第二卡爪(301)转动连接在转动轴(405)的外壁上。

5.根据权利要求4所述的一种飞秒激光微加工装置，其特征在于，所述第二滑槽(404)内壁上连接有第三导向杆，所述第三导向杆外壁上套接有弹性件(406)，且所述弹性件(406)的两端分别与滑块的侧壁和第二滑槽(404)的内壁相连。

6.根据权利要求5所述的一种飞秒激光微加工装置，其特征在于，所述空腔内壁上分别连接有第一导向杆(5)和第二导向杆(501)，所述第一导向杆(5)贯穿第一滑板(306)，所述第二导向杆(501)贯穿第二滑板(403)，且所述第一滑板(306)和第二滑板(403)分别与第一导向杆(5)和第二导向杆(501)滑动相连。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种飞秒激光微加工装置，其特征在于，所述第一卡爪(3)具体为卡板，所述第二卡爪(301)具体为压轮。

8.根据权利要求1所述的一种飞秒激光微加工装置，其特征在于，所述横梁(102)通过第一传动机构滑动连接在第一滑槽(101)内，所述连接柱(103)通过第二传动机构滑动连接在横梁(102)外壁上，所述激光发射组件(104)通过第三传动机构滑动连接在连接柱(103)外壁上。