[发明专利]一种飞秒激光微加工方法及装置

说明书

本发明公开了一种飞秒激光微加工方法及装置，属于激光加工装置技术领域。一种飞秒激光微加工装置，包括壳体，壳体内壁上开凿有第一滑槽，第一滑槽内部连接有横梁，横梁外壁上滑动连接有连接柱，连接柱外壁上滑动连接有激光发射组件，壳体内壁上还连接有工作台，工作台上分别开凿有第一T型槽和第二T型槽，工作台内部设置有空腔，空腔内部设置有定位夹紧机构，定位夹紧机构顶壁上分别连接有第一卡爪和第二卡爪，且第一卡爪和第二卡爪分别与第一T型槽和第二T型槽相匹配；本发明能够有效的对待加工工件进行定位夹紧，从而有效的保证工件加工的一致性和可重复性，进而提高实验数据的精准性。

技术领域

本发明涉及激光加工装置技术领域，尤其涉及一种飞秒激光微加工方法及装置。

背景技术

飞秒微加工技术作为一种新型的加工技术，具有非接触、效率高、热效应小损伤阈值低一级能够给实现真正的三维结构加工等传统技术无法比拟的诸多优点，因此其应用领域十分广泛。

现有技术中，专利号CN103317228A公开了一种飞秒激光微加工的同步监测装置，该飞秒激光微加工的同步监测装置包括一台飞秒激光器，沿所述飞秒激光器输出的飞秒激光光路依次设有两个平行全反射镜、衰减片、偏振片、分束棱镜、两个光阑，快门、聚焦透镜和加工对象，加工对象固定在旋转平移装置上并使光阑中心与加工对象的竖直中心线在同一平面上，在旋转平移装置上还固定有L型支架，L型支架上设置有监测用的CCD，旋转平移装置、CCD和L型支架均通过信号线与计算机相连，分束棱镜将飞秒激光分成两束能量完全相同的两束光，一束沿飞秒激光光路，用于加工，另一束沿另一条光路进入功率计，对飞秒激光的能量进行测量，实现了对加工对象表面出现的变化进行实时同步监测，减少因多次测量引起的误差，两个光阑等高共线，光束保持固定；该发明主要是为了解决在实验时，无法每次将样品摆放在同一位置，使得焦点无法准确地作用在加工对象表面上，从而对实验的结果造成了更大的误差甚至出现错误的问题，该发明虽然能够解决上述问题，但是结构较为复杂，并且是通过改变激光束的方向而达到焦点准确地作用在加工对象表面上，操作较为麻烦，而且不易对激光能量进行精确的控制，因此该发明仍存在一些不足之处。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中的问题，而提出的一种飞秒激光微加工方法及装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种飞秒激光微加工装置，包括壳体，所述壳体内壁上开凿有第一滑槽，所述第一滑槽内部连接有横梁，所述横梁外壁上滑动连接有连接柱，所述连接柱外壁上滑动连接有激光发射组件，所述壳体内壁上还连接有工作台，所述工作台上分别开凿有第一T型槽和第二T型槽，所述工作台内部设置有空腔，所述空腔内部设置有定位夹紧机构，所述定位夹紧机构顶壁上分别连接有第一卡爪和第二卡爪，且所述第一卡爪和第二卡爪分别与第一T型槽和第二T型槽相匹配。

优选的，所述定位夹紧机构包括固定板，所述固定板固定连接在空腔内部底壁上，所述固定板顶壁上连接有第一转动盘，所述第一转动盘顶壁上分别连接有第一连杆和第二连杆，所述第一连杆和第二连杆远离第一转动盘的一端均转动连接有第一滑板，所述第一卡爪连接在第一滑板顶壁上，所述第一滑板内壁和固定板外壁之间连接有气缸。

优选的，所述第一转动盘顶壁上连接有连接轴，所述连接轴顶壁上连接有第二转动盘，所述第二转动盘顶壁上分别转动连接有第三连杆和第四连杆，所述第三连杆和第四连杆远离第二转动盘的一端转动连接有第二滑板，且所述第二滑板的顶壁与空腔内部顶壁滑动相连。

优选的，所述第二滑板顶壁上开凿有第二滑槽，所述第二滑槽内部滑动连接有滑块，所述滑块顶壁上连接有转动轴，所述第二卡爪转动连接在转动轴的外壁上。

优选的，所述第二滑槽内壁上连接有第三导向杆，所述第三导向杆外壁上套接有弹性件，且所述弹性件的两端分别与滑块的侧壁和第二滑槽的内壁相连。