[发明专利]一种转动拉升式晶圆干燥机

权利要求书

1.一种转动拉升式晶圆干燥机，其特征在于：包括底座（11）、与底座（11）连接的立板（12）、转动连接于立板（12）的链轮组件、用于驱动链轮组件转动的驱动件（21）以及套设于链轮组件的链条（2）；

所述链条（2）上设有多个挂具机构；所述挂具机构与链条（2）之间设有固定机构；

所述固定机构包括夹设于挂具机构的转动臂（31）、与转动臂（31）固定连接的转盘（32）以及与转盘（32）转动连接的固定座（33）；所述固定座（33）与链条（2）固定连接；

所述立板（12）在链条（2）的顶部设有止转板（13）；所述止转板（13）用于与转动臂（31）抵靠；所述立板（12）在链条（2）的底部设有旋转导板（14）；所述旋转导板（14）用于与转盘（32）抵靠；

所述底座（11）设有水槽（4）；所述水槽（4）内设有喷气机构（5）；所述挂具机构经过旋转导板（14）进入水槽（4）内。

2.根据权利要求1所述的一种转动拉升式晶圆干燥机，其特征在于：所述链轮组件包括上主动轮（22）、上从动轮（23）、下主动轮（24）以及下从动轮（25）；所述驱动件（21）为第一电机；所述第一电机的输出端与上主动轮（22）连接；所述链条（2）套设于上主动轮（22）、上从动轮（23）、下主动轮（24）以及下从动轮（25）。

3.根据权利要求1所述的一种转动拉升式晶圆干燥机，其特征在于：所述固定座（33）连接有接头（34）；所述接头（34）通过销轴（35）与链条（2）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种转动拉升式晶圆干燥机，其特征在于：所述挂具机构包括边框（6）；所述边框（6）内设有若干个抓取组件；所述抓取组件包括设于边框（6）内的第一活动槽（71）、设于边框（6）内的第二活动槽（72）、活动设于第一活动槽（71）内的活塞（73）、活动伸缩于第二活动槽（72）的夹爪（74）以及与边框（6）转动连接的杠杆（75）；所述杠杆（75）的两端分别与活塞（73）以及夹爪（74）连接；

所述边框（6）外设有气槽；所述第一活动槽（71）设有与气槽连通的夹爪气孔（76）；所述挂具机构还包括与边框（6）连接的盖板（8）；所述盖板（8）设有与气槽连通的盖板气孔（81）；所述转动臂（31）设有与盖板气孔（81）连通的转动臂气孔（82）以及与转动臂气孔（82）连通的气道；所述固定座（33）设有与气道连通的进气孔（83）。

5.根据权利要求4所述的一种转动拉升式晶圆干燥机，其特征在于：所述抓取组件为设于边框（6）上下两端的上抓取组件（61）、下抓取组件（62）以及设于边框（6）左右两端的左抓取组件（63）、右抓取组件（64）；所述气槽包括设于边框（6）一侧的第一气槽（65）以及设于边框（6）另一侧的第二气槽（66）；所述盖板（8）包括设于边框（6）一侧的第一盖板（8）以及设于边框（6）另一侧的第二盖板（8）；所述第一盖板（8）设有与第一气槽（65）连通的第一盖板气孔（81）；所述第二盖板（8）设有与第二气槽（66）连通的第二盖板气孔（81）；所述转动臂气孔（82）包括与第一盖板气孔（81）连通的第一转动臂气孔（82）以及与第二盖板气孔（81）连通的第二转动臂气孔（82）；所述气道包括与第一转动臂气孔（82）连通的第一气道以及与第二转动臂气孔（82）连通的第二气道；所述进气孔（83）包括与第一气道连通的第一进气孔（83）以及与第二气道连通的第二进气孔（83）；所述上抓取组件（61）的夹爪气孔（76）以及下抓取组件（62）的夹爪气孔（76）分别与第一气槽（65）连通；所述左抓取组件（63）的夹爪气孔（76）以及右抓取组件（64）的夹爪气孔（76）分别与第二气槽（66）连通。

6.根据权利要求1所述的一种转动拉升式晶圆干燥机，其特征在于：所述喷气机构（5）包括固定于水槽（4）的外管（51）、套设于外管（51）内的内管（52）以及用于驱动内管（52）转动的第二电机（53）；所述第二电机（53）固定于水槽（4）；所述外管（51）设有狭缝出气口（54）；所述内管（52）设有多个出气孔（55）。

7.根据权利要求6所述的一种转动拉升式晶圆干燥机，其特征在于：所述出气孔（55）包括多组形状不一的出气组；所述出气组沿内管（52）的长度方向设于内管（52）上。