[发明专利]一种转动拉升式晶圆干燥机

说明书

本发明涉及干燥机技术领域，具体涉及一种转动拉升式晶圆干燥机，包括底座、立板、链轮组件、驱动件以及链条；所述固定机构包括转动臂、转盘以及固定座；所述固定座与链条固定连接；所述立板在链条的顶部设有止转板；所述立板在链条的底部设有旋转导板；所述底座设有水槽；所述水槽内设有喷气机构。本发明通过改变喷口构形，可以方便地对气流参数进行调节，保证干燥效果；通过转盘带动挂具机构在清洗过程中旋转，可以利用挂具机构对水流的搅动作用，提高清洗效果；在晶圆片提拉过程中，伴随挂具机构转动使得挂具机构的周向位置均可被气流覆盖，避免了干燥死角和积水点，提高干燥效果。

背景技术

在半导体集成电路的生产过程中，晶圆清洗、干燥是出现频率最高的生产工序，其清洗、干燥质量直接影响到最终芯片的良率。目前，晶圆片清洗干燥最先进的方式为Marangoni干燥法，其通过将晶圆片提拉出去离子水表面时，向晶圆片和去离子水接触的弯液面喷射高温的IPA蒸汽和氮气混合气体以诱导水与晶圆片表面产生马兰哥利效应，对晶圆片进行干燥。目前现有的采用马兰哥利效应原理干燥晶圆的方案中，晶圆的清洗干燥均采用间断式的生产方式，效率低下，无法满足工业化生产效率要求。清洗过程中，晶圆片在水中处于静止状态 ，水与晶圆片之间的接触界面没有流动性，清洗效果不理想。晶圆在提拉干燥过程中与喷气装置距离和角度均为固定，气流在某些部位容易行成死角，影响干燥效果。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中的上述不足，提供了一种转动拉升式晶圆干燥机。

本发明的目的通过以下技术方案实现：一种转动拉升式晶圆干燥机，包括底座、与底座连接的立板、转动连接于立板的链轮组件、用于驱动链轮组件转动的驱动件以及套设于链轮组件的链条；

所述链条上设有多个挂具机构；所述挂具机构与链条之间设有固定机构；

所述固定机构包括夹设于挂具机构的转动臂、与转动臂固定连接的转盘以及与转盘转动连接的固定座；所述固定座与链条固定连接；

所述立板在链条的顶部设有止转板；所述止转板用于与转动臂抵靠；所述立板在链条的底部设有旋转导板；所述旋转导板用于与转盘抵靠；

所述底座设有水槽；所述水槽内设有喷气机构；所述挂具机构经过旋转导板进入水槽内。

本发明进一步设置为，所述链轮组件包括上主动轮、上从动轮、下主动轮以及下从动轮；所述驱动件为第一电机；所述第一电机的输出端与上主动轮连接；所述链条套设于上主动轮、上从动轮、下主动轮以及下从动轮。

本发明进一步设置为，所述固定座连接有接头；所述接头通过销轴与链条固定连接。

本发明进一步设置为，所述挂具机构包括边框；所述边框内设有若干个抓取组件；所述抓取组件包括设于边框内的第一活动槽、设于边框内的第二活动槽、活动设于第一活动槽内的活塞、活动伸缩于第二活动槽的夹爪以及与边框转动连接的杠杆；所述杠杆的两端分别与活塞以及夹爪连接；

所述边框外设有气槽；所述第一活动槽设有与气槽连通的夹爪气孔；所述挂具机构还包括与边框连接的盖板；所述盖板设有与气槽连通的盖板气孔；所述转动臂设有与盖板气孔连通的转动臂气孔以及与转动臂气孔连通的气道；所述固定座设有与气道连通的进气孔。