[发明专利]一种电磁变距式元件转移方法

权利要求书

1.一种电磁变距式元件转移方法，其特征在于：其特征在于：元件晶片和目标基板分别通过第一静电吸附板21和第二静电吸附板22固定在横向移料机构的左右两个工位上，横向移料机构带动承托板2可在横向上作高速高精度移动；

电磁变距抓料机构安装在纵向移料机构上可作纵向运动。电磁变距抓料机构套接在基座3内，通过抓料复位弹簧32复位，第一电磁铁31吸合控制伸出距离；工作时，纵向移料机构移动至元件顶部，第二电磁铁82断电，电磁变距抓料机构在抓料复位弹簧32作用下伸出，通过静电吸附的方式将元件抓取，提升后移送到目标基板上方，然后电磁变距抓料机构，将元件准确送至目标基板的元件放置井中；通过重复以上动作，将元件晶片上的待放置元件依次转移放置到目标基板的元件放置井中。

2.根据权利要求1所述的一种电磁变距式元件转移方法，其特征在于：所述横向移料机构包括设于底板（11）顶部的横向直线电机（41）以及与横向直线电机（41）连接的横向滑块（42）；所述承托板（2）设于横向滑块（42）上。

3.根据权利要求1所述的一种电磁变距式元件转移方法，其特征在于：所述纵向移料机构包括设于顶板（13）底部的纵向直线电机（51）以及与纵向直线电机（51）连接的纵向滑块（52）；所述基座（3）设于纵向滑块（52）上。