[发明专利]一种旋转靶材的垂直绑定结构以及绑定方法

权利要求书

1.一种旋转靶材的垂直绑定结构，包括衬管(2)、和套设在所述衬管(2)外的多个靶管(1)，所述衬管(2)的外周面和所述靶管(1)的内周面之间通过连接层(7)固定，其特征在于：所述连接层(7)为胶体层，所述连接层(7)内匹配设置有辅助连接部件。

2.根据权利要求1所述的旋转靶材的垂直绑定结构，其特征在于：所述辅助连接部件为匹配包围所述衬管(2)的外周面的金属网(6)。

3.根据权利要求2所述的旋转靶材的垂直绑定结构，其特征在于：所述金属网(6)为镍网、钛网、钼网、钨网、铌网、银网、铜网、不锈钢网中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的旋转靶材的垂直绑定结构，其特征在于：

所述辅助连接部件为多个金属片(8)，所述金属片(8)的长度与所述衬管(2)的长度相匹配，所述金属片(8)在所述衬管(2)的外周面沿周向间隔排列。

5.根据权利要求4所述的旋转靶材的垂直绑定结构，其特征在于：所述金属片(8)上设有多个通孔。

6.根据权利要求5所述的旋转靶材的垂直绑定结构，其特征在于：所述通孔间隔均匀排列，且所述通孔的形状为圆形或三角形或六角形。

7.根据权利要求4所述的旋转靶材的垂直绑定结构，其特征在于：所述金属片(8)为镍片、钛片、钼片、钨片、铌片、银片、铜片、不锈钢片中的任意一种。

8.根据权利要求1至7任一项所述的旋转靶材的垂直绑定结构，其特征在于：

所述胶体层为环氧树脂灌封胶、有机硅灌封胶、聚氨酯灌封胶、石墨灌封胶、铜粉导电胶、银粉导电胶、镍粉导电胶中的任意一种。

9.根据权利要求4所述的旋转靶材的垂直绑定结构，其特征在于：在相邻的所述靶管(1)之间卡设有间隙控制片(5)。

10.一种旋转靶材的垂直绑定方法，其特征在于包括以下步骤：

(a)喷砂粗化：喷砂粗化衬管(2)靶管(1)的待粘接面；

(b)灌封胶准备：根据不同靶管(1)材质选择适用的灌封胶；

(c)真空脱泡：对灌封胶进行真空脱泡；

(d)定位：将定位套(3)用卡盘(4)夹持，将衬管(2)同心插置于所述定位套(3)内，在所述衬管(2)和所述定位套(3)之间的间隙内灌注所述灌封胶，固化后即完成定位；

(e)设置辅助连接部件：将辅助连接部件对应设置在所述衬管(2)的外周面；

(f)固定靶管(1)：将所述靶管(1)套设在辅助连接部件外侧，与所述衬管(2)同心设置；在所述衬管(2)的外周面与所述靶管(1)的内周面之间的间隙处灌注灌封胶，固化成型；根据所述靶管(1)的数量重复该步骤多次，相邻的靶管(1)之间设置间隙控制片(5)；

(g)间隙处理：固化完毕后，拆除间隙控制片(5)。