[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，其特征在于，包括：

真空容器；

绕垂直轴线转动的基板保持单元，其能保持多个基板；

位于所述真空容器内部的成膜区域，所述成膜区域能够通过溅射从靶材释放出溅射离子到达所述基板；

可拆卸地安装于所述真空容器内的隔离单元，其将所述成膜区域与所述真空容器内的其他区域隔开。

2.如权利要求1所述成膜装置，其特征在于：所述隔离单元可拆卸地安装于所述真空容器的内侧壁上。

3.如权利要求2所述成膜装置，其特征在于：所述隔离单元由所述真空容器的内侧壁向所述基板保持单元延伸；所述隔离单元的长度方向与所述基板保持单元的轴向平行。

4.如权利要求1至3任一所述成膜装置，其特征在于：所述隔离单元包括相对设置的两个隔离罩；所述成膜区域位于两个所述隔离罩之间。

5.如权利要求4所述成膜装置，其特征在于：所述隔离单元被设置为在所述基板保持单元送入或移出所述真空容器内时拆卸或安装。

6.如权利要求5所述成膜装置，其特征在于：还包括用于搬运所述基板保持单元的搬运机构；所述搬运机构与所述隔离单元相配合，以使所述隔离单元在所述基板保持单元送入或移出所述真空容器内时安装或拆卸。

7.如权利要求6所述成膜装置，其特征在于：所述搬运机构能够使所述隔离单元升降，以拆装所述隔离单元。

8.如权利要求7所述成膜装置，其特征在于：所述搬运机构在将所述隔离单元送入真空容器内时与隔离单元保持连接，并在所述隔离单元安装至真空容器的侧壁上时与隔离单元脱离。

9.如权利要求8所述成膜装置，其特征在于：所述搬运机构具有能够升降的操作台；所述操作台用于放置所述基板保持单元以及所述隔离单元；所述隔离单元位于所述操作台上时随所述搬运机构一同运动。

10.如权利要求9所述成膜装置，其特征在于：所述隔离罩具有挂接件；所述真空容器的侧壁上设有与所述挂接件相配合的支撑件；所述挂接件挂接在所述支撑件时，所述挂接件能通过向上移动与所述支撑件分离。

11.如权利要求10所述成膜装置，其特征在于：所述操作台设有供所述隔离单元沿重力方向插入的插槽。

12.如权利要求11所述成膜装置，其特征在于：所述插槽靠近所述操作台的边缘设置。