[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其特征在于，

包括：

移送部，移送透明方形基板；

基板支撑部，支撑所述被移送的透明方形基板；

光产生部，向移动中的所述透明方形基板照射相互不同的两束光，并检测被照射的光；及

控制装置，参照所述检测的光，判断所述透明方形基板的姿态，控制所述移送部，以使按提前设定的基本姿态而将所述透明方形基板安装在所述基板支撑部，

所述控制装置利用在所述透明方形基板的边缘，未透过所述相互不同的两束光中的第一光的时刻及未透过所述相互不同的两束光中的第二光的时刻之间的时间差，而判断所述基本姿态对应的所述透明方形基板的姿态。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述光产生部包括：

第一及第二光照射部，以与地面垂直的方向分别照射第一光及第二光；及

第一及第二光检测部，在所述第一及第二光照射部的上部或下部而配置在与地面平行的一个直线上，分别检测所述照射的第一光及第二光。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述移送部在所述透明方形基板的宽的面与地面平行配置的状态下，以与所述第一光及第二光的光照射方向垂直的方向而移动所述透明方形基板，以供所述透明方形基板通过所述第一光及第二光。

4.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

基本姿态对应的透明方形基板的姿态包含配置有第一光检测部及第二光检测部的方向与形成于透明方形基板的边缘之间的角度。

5.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述控制装置利用在所述透明方形基板的一侧边缘未透过所述第一光及第二光的时刻与在所述一侧边缘的对侧边缘未透过所述第一光及第二光的时刻之间的时间差而判断所述透明方形基板的中心线。

6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，

所述控制装置控制所述移送部，以使所述透明方形基板的中心线与所述基板支撑部的中心线一致。