[发明专利]光学谐振腔

权利要求书

1.一种光学谐振腔，其具有前反射镜及后反射镜，并使光穿过激励激光气体的放电区域而进行往返，所述光学谐振腔的特征在于，

所述前反射镜的朝向内侧的面与所述光学谐振腔的光轴正交，

所述前反射镜的朝向外侧的面相对于与所述光学谐振腔的光轴垂直的假想平面倾斜，

所述后反射镜具有处于彼此交叉的位置关系的平面状的两个反射区域，

所述光学谐振腔的光轴为一条直线，或所述光学谐振腔包含折返镜，

在所述光学谐振腔的光轴为一条直线的情况下，分别包括所述后反射镜的所述两个反射区域的两个假想平面的交线与所述前反射镜的朝向外侧的面的倾斜方向并不处于正交的关系，

在所述光学谐振腔包含折返镜的情况下，分别包括所述后反射镜的所述两个反射区域的两个假想平面的交线经由所述折返镜而投影到配置有所述前反射镜的位置上的与光轴垂直的假想平面上的线像与所述前反射镜的朝向外侧的面的倾斜方向平行。

2.根据权利要求1所述的光学谐振腔，其特征在于，

分别包括所述后反射镜的所述两个反射区域的两个假想平面的交线与所述前反射镜的朝向外侧的面的倾斜方向处于平行的关系。

3.根据权利要求1或2所述的光学谐振腔，其特征在于，

在所述光学谐振腔的光轴方向上的所述放电区域的两侧，还分别配置有具有开口的光圈，

在用L表示一对所述光圈之间的间隔且用D表示所述光圈的开口直径时，所述前反射镜的朝向外侧的面相对于与所述光学谐振腔的光轴正交的假想平面倾斜的角度为tan^-1（D/4L）以上。