[发明专利]光学谐振腔

说明书

本发明提供一种即使前反射镜的朝向外侧的面倾斜且将屋脊反射镜用于后反射镜也能够抑制因前反射镜的朝向外侧的面而产生的不必要的振荡的光学谐振腔。光学谐振腔具有前反射镜及后反射镜，并使光穿过激励激光气体的放电区域而进行往返。前反射镜的朝向外侧的面相对于与光学谐振腔的光轴垂直的假想平面倾斜。后反射镜具有处于彼此交叉的位置关系的平面状的两个反射区域。分别包括后反射镜的两个反射区域的两个假想平面的交线与前反射镜的朝向外侧的面的倾斜方向并不处于正交的关系。

本申请主张基于2018年12月17日申请的日本专利申请第2018-235278号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种光学谐振腔。

背景技术

已知有一种光学谐振腔，其通过使光学谐振腔的前反射镜的朝向外侧的表面相对于光学谐振腔的光轴倾斜，从而抑制因朝向外侧的表面上的反射而引起的不必要的谐振(例如，下述专利文献1的第0054段)。并且，还已知有一种为了抑制高次横模的产生而提高模式稳定性而使用具有彼此正交的两个反射面的屋脊反射镜作为后反射镜的光学谐振腔。

专利文献1：国际公开第2014/046161号公报

在后反射镜为平面镜时，若前反射镜的朝向外侧的面倾斜，则在前反射镜的朝向外侧的面与后反射镜之间往返的光在较少的往返次数下被配置于光学谐振腔内的光圈遮蔽。因此，封闭于前反射镜的朝向外侧的面与后反射镜之间的光不会成长至激光。

然而，在将屋脊反射镜用作后反射镜的情况下，与使用平面镜时相比，在前反射镜的朝向外侧的面与后反射镜之间往返的次数会增加。若往返次数增加，则除了原本应振荡的激光束之外，沿相对于光学谐振腔的光轴倾斜的方向传播的光也会成长为激光。沿相对于光轴倾斜的方向传播的激光束会影响原本应振荡的激光束的横截面上的强度分布(横模)。

要想在光学谐振腔的外部从原本应振荡的激光束中分离沿相对于光学谐振腔的光轴倾斜的方向传播的激光束，需要几米左右的距离。因此，用于分离两者的光学系统变长，会导致光学装置变得昂贵。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种即使前反射镜的朝向外侧的面倾斜且将屋脊反射镜用于后反射镜也能够抑制因前反射镜的朝向外侧的面而产生的不必要的振荡的光学谐振腔。

根据本发明的一种观点，提供一种光学谐振腔，其具有前反射镜及后反射镜，并使光穿过激励激光气体的放电区域而进行往返，其中，

所述前反射镜的朝向外侧的面相对于与所述光学谐振腔的光轴垂直的假想平面倾斜，

所述后反射镜具有处于彼此交叉的位置关系的平面状的两个反射区域，

分别包括所述后反射镜的所述两个反射区域的两个假想平面的交线与所述前反射镜的朝向外侧的面的倾斜方向并不处于正交的关系。

若使分别包括后反射镜的两个反射区域的两个假想平面的交线与前反射镜的朝向外侧的面的倾斜方向并不处于正交的关系，则在前反射镜的朝向外侧的面上反射的光能够往返于光学谐振腔内的次数减少。其结果，能够抑制因前反射镜的朝向外侧的面而产生的不必要的振荡。

附图说明

图1是搭载有基于实施例的光学谐振腔的气体激光装置的包含光轴的剖视图。

图2是搭载有基于实施例的光学谐振腔的气体激光装置的与光轴垂直的剖视图。

图3中(A)是基于实施例的光学谐振腔的立体图，图3中(b)是与y轴垂直的剖视图，图3中(C)是与x轴垂直的剖视图。

图4中(A)是表示在基于实施例的光学谐振腔的前反射镜的朝向外侧的面上垂直反射的光在xz截面上传播的状态的图，图4中(B)是表示在基于比较例的光学谐振腔的前反射镜的朝向外侧的面上垂直反射的光在xz截面上传播的状态的图。