[发明专利]三氯氢硅生产工艺中提高四氯化硅转化率的方法在审
申请号: | 201911100030.9 | 申请日: | 2019-11-12 |
公开(公告)号: | CN110655086A | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 董立强 | 申请(专利权)人: | 唐山三孚硅业股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 13103 唐山永和专利商标事务所 | 代理人: | 张云和 |
地址: | 063305 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 催化剂 四氯化硅 硅粉 三氯氢硅 三氯氢硅生产 催化剂价格 除尘负荷 反应活性 反应条件 上下调节 影响产品 反应器 氯化氢 氯氢化 质量比 袋滤 制备 沸腾 | ||
1.一种三氯氢硅生产工艺中提高四氯化硅转化率的方法,其特征在于:以硅粉为原料,添加催化剂,与氯化氢进行沸腾氯氢化反应制备三氯氢硅和四氯化硅,催化剂与硅粉的质量比为0.5-2:1000;催化剂为S20型、S21型、S22型铜类催化剂。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产工艺中提高四氯化硅转化率的方法,其特征在于:硅粉硅含量Si≥98.5%,粒径20-120目。
3.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产工艺中提高四氯化硅转化率的方法,其特征在于:催化剂为S21型铜类催化剂,即铜合金催化剂;铜合金催化剂与硅粉的质量比为1:1000。
4.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产工艺中提高四氯化硅转化率的方法,其特征在于,沸腾氯氢化反应温度为340℃,压力为0.08MPa。
5.根据权利要求4所述的三氯氢硅生产工艺中提高四氯化硅转化率的方法,其特征在于:沸腾氯氢化反应是在沸腾流化床进行,沸腾流化床为直径0.8~1.2m的沸腾床。
6.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产工艺中提高四氯化硅转化率的方法,其特征在于:最终反应生成的氯硅烷气体,经过除尘冷凝后,尾气经变压吸附后回收氯化氢气体,氢气送下游工序循环利用。
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