[发明专利]钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备

说明书

本发明公开了一种钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备，属于半导体真空设备安装治具技术领域，为解决现有阀体安装精度差等问题而设计。本发明钟摆阀定位治具组件包括定位刻度盘，定位刻度盘上设置有多个同心设置的定位圆环和位于定位圆环中心处的中心点标识部，任意相邻两个定位圆环之间的间距相等。本发明钟摆阀定位治具组件及半导体加工设备能通过定位刻度盘的中心与阀体的中心是否对准来判断安装是否合格，若定位刻度盘的中心与阀体的中心未对准则说明钟摆阀的安装出现了偏差、需要进行调整，通过调整使得钟摆阀安装准确，避免因为操作人员的经验差异导致钟摆阀安装出现偏差的情况。

技术领域

本发明涉及半导体真空设备安装治具技术领域，尤其涉及一种钟摆阀定位治具组件以及包括该钟摆阀定位治具组件的半导体加工设备。

背景技术

钟摆阀是一种用于控制管路开度的阀门结构，通常设置在半导体设备中。具体的，钟摆阀包括片状的阀体和柱状的摆杆，驱动装置能通过驱动摆杆带着阀体做钟摆运动。所谓钟摆运动为阀体绕摆杆上基准点做扇形运动，从而改变阀体处于管路中的面积，进而改变管路中敞开面积与关闭面积的比例值，实现管路开度的调节。

钟摆阀安装时对阀体的中心是否与管路轴线(管路全部径向截面的圆心的连线)重合要求较高，因为若初始时即是偏离阀体中心的，那么后续调整管路开度时误差较大。现有技术中，安装人员需要通过触摸及视觉判断阀体是否摆放在中心位置，受个人主观意识和经验的影响较强，安装误差较大，阀体的位置容易出现偏移，导致钟摆阀安装精度差。

发明内容

本发明的一个目的在于提出一种便于快速准确安装阀体的钟摆阀定位治具组件。

本发明的另一个目的在于提出一种阀体安装的快速准确的半导体加工设备。

为达此目的，一方面，本发明采用以下技术方案：

一种钟摆阀定位治具组件，包括定位刻度盘，所述定位刻度盘上设置有多个同心设置的定位圆环和位于所述定位圆环中心处的中心点标识部，任意相邻两个所述定位圆环之间的间距相等。

特别是，所述定位刻度盘上还设置有相互垂直的两条定位线，在至少一条所述定位线上设置有多条刻度线。

特别是，所述刻度线的刻度精度为2mm。

特别是，所述钟摆阀定位治具组件还包括自动偏差补偿装置，用于实时检测钟摆阀的位置偏差并自动进行补偿。

特别是，所述自动偏差补偿装置包括：位置感应器，用于实时检测钟摆阀的位置偏差；控制装置，与所述位置感应器信号连接；以及，驱动装置，与所述控制装置信号连接，且驱动连接所述钟摆阀；所述控制装置能够根据所述位置感应器检测的位置偏差控制所述驱动装置驱动钟摆阀摆动进行位置补偿。

特别是，所述位置感应器的数量为两个，两个所述位置感应器的检测方向相垂直。

另一方面，本发明采用以下技术方案：

一种半导体加工设备，包括钟摆阀，还包括上述的钟摆阀定位治具组件。

特别是，在所述钟摆阀的阀体的中心上设置有定位标示部，所述定位标示部与所述中心点标识部相重合。

特别是，所述半导体加工设备包括腔室，所述腔室通过进气管连通至反应气体存储装置，所述腔室内设置有用于承载硅片的载台，所述腔室通过腔室管道连接至涡轮泵，所述钟摆阀设置在所述腔室和所述涡轮泵之间。

特别是，所述阀体与所述定位刻度盘的尺寸相同。