[发明专利]一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法及处理装置

说明书

本发明公开了一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，所述处理方法包括如下步骤：T1：向反应罐中通入六氯二硅烷和氯化氢；T2：向反应罐中通入氮氮二甲基苯胺；T3：六氯二硅烷和氯化氢在氮氮二甲基苯胺的催化作用下发生反应，反应生成三氯氢硅、四氯化硅以及氢气。在氮氮二甲基苯胺的催化作用下，六氯二硅烷和氯化氢能够进行快速地反应，从而实现三氯氢硅和四氯化硅的高效回收，从而进一步节约了能源，减少了排放量。本发明还公开了一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理装置。

技术领域

本发明涉及多晶硅生产领域，更具体地说，涉及一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法及处理装置。

背景技术

在多晶硅生产中会产生六氯二硅烷废料。在现有技术中，未对六氯二硅烷废料进行降解，而是对六氯二硅烷废料进行水解后直接将六氯二硅烷废料排出。这样不仅会使排放量增大，而且无法回收六氯二硅烷废料中的三氯氢硅和四氯化硅，从而造成能源的浪费。现有技术中，存在一些对六氯二硅烷进行降解的方法，但是降解反应速度慢，回收效率低。

因此，如何设计一种多晶硅生产中六氯二硅烷的处理方法，该处理方法能够回收六氯二硅烷废料中的三氯氢硅和四氯化硅，该方法的回收效率高，从而进一步节约能源，减少排放量，是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种多晶硅生产中六氯二硅烷的处理方法，该处理方法能够回收六氯二硅烷废料中的三氯氢硅和四氯化硅，且该方法的回收效率高，从而进一步节约能源，减少排放量。

一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，所述处理方法包括如下步骤：

T1：向反应罐中通入六氯二硅烷和氯化氢；

T2：向反应罐中通入氮氮二甲基苯胺；

T3：六氯二硅烷和氯化氢在氮氮二甲基苯胺的催化作用下发生反应，反应生成三氯氢硅、四氯化硅以及氢气。

优选地，在所述步骤T1之前还包括步骤S2：对所述反应罐进行加热，使所述反应罐的内部温度为设定的温度。

优选地，所述设定的温度为90℃±5℃。

优选地，所述步骤S2之前还包括步骤S1：利用氮气置换所述反应罐中的水分和空气。

优选地，所述步骤T2之后，所述步骤T3之前还包括步骤T23：检测所述反应罐中的压力是否为设定的压力，如果小于所述设定的压力，那么向所述反应罐中充入氮气；如果大于所述设定的压力，那么对所述反应罐进行泄压。

优选地，所述设定的压力为200kpa±20kpa。

一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理装置，包括反应罐，所述反应罐上设置有物料进口、气相出口、催化剂入口，所述物料进口供六氯二硅烷和氯化氢的进入，所述气相出口供反应生成物的流出，所述催化剂入口供氮氮二甲基苯胺的进入。

优选地，所述反应罐上还设置有氮气入口和放空口，所述氮气入口供氮气的进入，所述放空口供所述反应罐泄压。

优选地，所述反应罐上还设置有安全阀。

优选地，所述物料进口、所述气相进口、所述催化剂入口、所述氮气入口以及所述放空口围绕所述反应罐的颈部周向布置。

优选地，所述反应罐的底部设置有封头，所述封头上设置有渣浆阀。

优选地，所述反应罐外套设有夹套，所述夹套与所述反应罐之间充有蒸汽。

优选地，所述夹套的上部设置有蒸汽进口，所述夹套的下部设置有冷凝水出口。

优选地，所述反应罐内设置有搅拌轴。