[发明专利]一种晶圆花篮更迭装置

权利要求书

1.一种晶圆花篮更迭装置，其特征在于，所述装置包括：

导入移动机构(1)，所述导入移动机构(1)包括第一托架(11)，所述第一托架(11)上用来放置承载有晶圆的第一花篮(100)，所述导入移动机构(1)包括竖直方向的短程气缸(12)，所述短程气缸(12)的移动端与两排第一传感器(13)连接，每列所述第一传感器(13)朝向所述第一花篮(100)上对应晶片装载位置，所述导入移动机构(1)为三轴机器人，所述三轴机器人的移动端连接所述第一托架(11)，所述三轴机器人的移动端上设置有旋转气缸，所述旋转气缸的移动端与所述第一托架(11)固定连接；

导片机构(2)，所述导片机构(2)包括顶升单元(21)和夹持单元(22)，所述夹持单元(22)设置在所述顶升单元(21)的上方，所述夹持单元(22)能够自两侧夹持或者松开晶圆，所述顶升单元(21)能够自底部托住晶圆；

左侧托架(3)，所述左侧托架(3)可水平移动的设置在框架结构(300)上，所述左侧托架(3)上设置有能够在不同位置分别与所述第一托架(11)、顶升单元(21)上下对正的第二托架(31)，所述第二托架(31)包括向左侧开口的U型端口；以及

右侧托架(4)，所述右侧托架(4)可水平移动的设置在框架结构(300)上，所述右侧托架(4)上设置有能够与所述顶升单元(21)上下对正的第三托架(41)，所述第三托架(41)包括向右侧开口的U型端口；

其中，当第一花篮(100)内承载有晶圆时，通过所述三轴机器人在水平面内沿轴向运动带动导入移动机构(1)沿轴向移动，所述轴向与左侧托架(3)和右侧托架(4)的水平移动方向有夹角，直至承载有晶圆的所述第一花篮(100)与第二托架(31)对正后，所述左侧托架(3)做水平移动直至第一花篮(100)与第二托架(31)在竖直方向上对正，通过所述导入移动机构(1)的下行，将承载有晶圆的所述第一花篮(100)转移至所述第二托架(31)上，所述第二托架(31)移动至与所述顶升单元(21)对正后，通过所述顶升单元(21)的上行托起晶圆，完成晶圆和所述第一花篮(100)的分离，所述夹持单元(22)夹持住晶圆，所述顶升单元(21)复位后所述第二托架(31)离开所述顶升单元(21)上方，放置有第二花篮(200)的所述第三托架(41)移动至与所述顶升单元(21)对正后，所述顶升单元(21)上行托住晶圆，所述夹持单元(22)松开所述晶圆，所述顶升单元(21)下行至晶圆转移至所述第二花篮(200)，完成花篮更迭。

2.根据权利要求1所述的晶圆花篮更迭装置，其特征在于，所述第一传感器(13)为光源反射式传感器。

3.根据权利要求1所述的晶圆花篮更迭装置，其特征在于，所述导入移动机构(1)上设置有第二传感器，所述第二传感器朝向所述第二托架(31)与所述第一托架(11)的设计对正位置，用来确定所述第一花篮(100)转移至所述第二托架(31)是否到位。

4.根据权利要求3所述的晶圆花篮更迭装置，其特征在于，所述第二传感器为对射型传感器。

5.根据权利要求1所述的晶圆花篮更迭装置，其特征在于，所述夹持单元(22)包括轴心位置固定且可以绕轴自转的第一夹持杆(221)、平行于第一夹持杆(221)设置的第二夹持杆(222)、固定在第一夹持杆(221)与第二夹持杆(222)上的夹持片(223)、固定在第二夹持杆(222)两端的对开型的联杆装置(224)。

6.根据权利要求1所述的晶圆花篮更迭装置，其特征在于，所述第一托架(11)、第二托架(31)、第三托架(41)的四角上分别设置有第三传感器。

7.根据权利要求6所述的晶圆花篮更迭装置，其特征在于，所述第三传感器为遮光式传感器。