[发明专利]一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置

权利要求书

1.一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于，包括旋转底座(1)、传动底座(2)、旋转框架(3)、固定部(4)、回转电机(5)、两组传送机构和一组导向机构，固定部(4)固定在相应腔室内，回转电机(5)安装在固定部(4)内，且回转电机(5)的电机轴连接旋转底座(1)的中心，旋转底座(1)安装在固定部(4)上，且旋转底座(1)和固定部(4)之间设有轴承，回转电机(5)连接并驱动旋转底座(1)旋转。

2.根据权利要求1所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：传动底座(2)通过固定螺栓安装在旋转底座(1)上，传动底座(2)为中空的长筒状的柱体，传动底座(2)的长度方向和旋转底座(1)的平面平行。

3.根据权利要求2所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：旋转框架(3)安装在传动底座(2)的上表面，旋转框架(3)包括两根支撑竖杆(31)和一根支撑横杆(32)，支撑竖杆(31)和支撑横杆(32)均为直杆状，两根支撑竖杆(31)平行间隔设置，支撑竖杆(31)垂直连接传动底座(2)，支撑横杆(32)的两端各连接在一根支撑竖杆(31)的中部。

4.根据权利要求3所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：支撑竖杆(31)底部固定设有两个连接翼(12)，连接翼(12)凸出支撑竖杆(31)的表面，连接翼(12)垂直连接支撑竖杆(31)，两个连接翼(12)相对支撑竖杆(31)对称布置，两个连接翼(12)通过固定螺栓连接在传动底座(2)的上表面。

5.根据权利要求3所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：两组传送机构位于旋转框架(3)的下端，每组传送机构沿着传动底座(2)的长度方向布置，两组传送机构分列于传动底座(2)的长度方向的两侧。

6.根据权利要求5所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：每组传送机构包括传送电机(6)、同步带(7)、多个同步轮(8)、多个磁流体(9)和多个内传动轮(10)，多个同步轮(8)位于中空的传动底座(2)内，多个同步轮(8)沿着传动底座(2)的长度方向均匀间隔布置，多个磁流体(9)和多个内传动轮(10)位于中空的传动底座(2)外部，一个传动轮(10)、磁流体(9)和同步轮(8)形成一组传动装置，传动轮(10)、磁流体(9)和同步轮(8)依次连接并传递驱动，传动轮(10)圆周面为内凹的。

7.根据权利要求6所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：多个同步轮(8)张紧同步带(7)，传送电机(6)一端接触同步带(7)，通过与同步带(7)间的摩擦力连接并驱动同步带(7)转动，同步带(7)带动多个同步轮(8)转动。

8.根据权利要求3所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：导向机构包括一个平衡板(14)、一个导向安装板(15)和多个磁导向(13)，导向安装板(15)位于旋转框架(3)的顶端，导向安装板(15)为长矩形的板状，导向安装板(15)和支撑竖杆(31)垂直连接，支撑竖杆(31)连接导向安装板(15)的中部，平衡板(14)连接在导向安装板(15)上部的中部。

9.根据权利要求8所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：多个磁导向(13)分成两组，每组的多个磁导向(13)沿着导向安装板(15)的长度方向均匀间隔布置，且多个磁导向(13)相对支撑竖杆(31)对称布置。

10.根据权利要求8所述的ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，其特征在于：基片架(11)的下端位于传动轮(10)的内凹圆周面内，基片架(11)的上端位于磁导向(13)之间，基片架(11)的上端为磁性结构。