[发明专利]一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置

说明书

本发明提供了一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，包括旋转底座、传动底座、旋转框架、固定部、回转电机、两组传送机构和一组导向机构，固定部固定在相应腔室内，回转电机安装在固定部内，且回转电机的电机轴连接旋转底座的中心，旋转底座安装在固定部上，且旋转底座和固定部之间设有轴承，回转电机连接并驱动旋转底座旋转。本发明基片架上端受到两侧的磁导向的均匀的磁力，基片架上端稳定、无晃动，旋转结构稳定驱动基片架旋转，两者结合使基片架旋转时能稳定、无位移偏差，利于旋转掉头后的镀膜稳定性和均匀性。

技术领域

本发明涉及镀膜生产技术领域，具体为一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置。

背景技术

真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片。镀膜需要在一条镀膜生产线上完成，镀膜生产线包括多个连续的功能室，经过前期的抽真空等步骤后进入工艺室进行镀膜操作。ARC镀膜需要进行多层镀膜，生产线较长，为了缩短镀膜生产线的长度，提高厂房的空间利用率，常常需要将镀膜生产线折叠，即基片沿着U形通道运行，换句话说，基片需要掉头旋转，转动过程易不平稳、旋转后和生产线配合不严密。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，基片架上端受到两侧的磁导向的均匀的磁力，基片架上端稳定、无晃动，旋转结构稳定驱动基片架旋转，两者结合使基片架旋转时能稳定、无位移偏差，利于旋转掉头后的镀膜稳定性和均匀性。

为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：

一种ARC镀膜生产线的基片架旋转装置，包括旋转底座、传动底座、旋转框架、固定部、回转电机、两组传送机构和一组导向机构，固定部固定在相应腔室内，回转电机安装在固定部内，且回转电机的电机轴连接旋转底座的中心，旋转底座安装在固定部上，且旋转底座和固定部之间设有轴承，回转电机连接并驱动旋转底座旋转。

作为上述技术方案的进一步改进为：

传动底座通过固定螺栓安装在旋转底座上，传动底座为中空的长筒状的柱体，传动底座的长度方向和旋转底座的平面平行。

旋转框架安装在传动底座的上表面，旋转框架包括两根支撑竖杆和一根支撑横杆，支撑竖杆和支撑横杆均为直杆状，两根支撑竖杆平行间隔设置，支撑竖杆垂直连接传动底座，支撑横杆的两端各连接在一根支撑竖杆的中部。

支撑竖杆底部固定设有两个连接翼，连接翼凸出支撑竖杆的表面，连接翼垂直连接支撑竖杆，两个连接翼相对支撑竖杆对称布置，两个连接翼通过固定螺栓连接在传动底座的上表面。

两组传送机构位于旋转框架的下端，每组传送机构沿着传动底座的长度方向布置，两组传送机构分列于传动底座的长度方向的两侧。

每组传送机构包括传送电机、同步带、多个同步轮、多个磁流体和多个内传动轮，多个同步轮位于中空的传动底座内，多个同步轮沿着传动底座的长度方向均匀间隔布置，多个磁流体和多个内传动轮位于中空的传动底座外部，一个传动轮、磁流体和同步轮形成一组传动装置，传动轮、磁流体和同步轮依次连接并传递驱动，传动轮圆周面为内凹的。

多个同步轮张紧同步带，传送电机一端接触同步带，通过与同步带间的摩擦力连接并驱动同步带转动，同步带带动多个同步轮转动。

导向机构包括一个平衡板、一个导向安装板和多个磁导向，导向安装板位于旋转框架的顶端，导向安装板为长矩形的板状，导向安装板和支撑竖杆垂直连接，支撑竖杆连接导向安装板的中部，平衡板连接在导向安装板上部的中部。

多个磁导向分成两组，每组的多个磁导向沿着导向安装板的长度方向均匀间隔布置，且多个磁导向相对支撑竖杆对称布置。