[发明专利]一种制程设备的控制方法及装置在审

专利信息
申请号: 201911120220.7 申请日: 2019-11-15
公开(公告)号: CN110808222A 公开(公告)日: 2020-02-18
发明(设计)人: 温昕;佘迎松 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/66
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 唐秀萍
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 设备 控制 方法 装置
【说明书】:

发明提供一种制程设备的控制方法及装置,该方法包括:获取当前制程阶段的制程设备的第一制程参数,并对所述第一制程参数进行训练,得到第一预测数据;根据所述第一预测数据判断所述显示面板是否满足预设条件;当所述显示面板不满足预设条件时,则对所述制程设备或者所述显示面板进行异常处理。本发明的制程设备的控制方法及装置,能够提高产品良率。

【技术领域】

本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种制程设备的控制方法及装置。

【背景技术】

一台制程设备可以制备多个显示面板,多个显示面板也即为同一批次的显示面板。目前同一批次的显示面板均采用预先设定好的制程参数进行制程。

然而,目前只有在制程完毕时,才进行显示面板的检测,以判断面板是否合格,因而一旦检测的显示面板不合格时,无法补救,增加了生产成本且降低了产品良率。

因此,有必要提供一种制程设备的控制方法及装置,以解决现有技术所存在的问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种制程设备的控制方法及装置,能够提高产品良率以及降低生产成本。

为解决上述技术问题,本发明提供一种制程设备的控制方法,其中所述制程设备用于制备显示面板;

获取当前制程阶段的制程设备的第一制程参数,并对所述第一制程参数进行训练,得到第一预测数据;

根据所述第一预测数据判断所述显示面板是否满足预设条件;

当所述显示面板不满足预设条件时,则对所述制程设备或者所述显示面板进行异常处理。

本发明还提供一种制程设备的控制装置,所述制程设备用于制备显示面板;所述装置包括:

第一训练模块,用于获取当前制程阶段的制程设备的第一制程参数,并对所述第一制程参数进行训练,得到第一预测数据;

判断模块,用于根据所述第一预测数据判断所述显示面板是否满足预设条件;

处理模块,用于当所述显示面板不满足预设条件时,则对所述制程设备或者所述显示面板进行异常处理。

本发明的制程设备的控制方法及装置,包括获取当前制程阶段的制程设备的第一制程参数,并对所述第一制程参数进行训练,得到第一预测数据;根据所述第一预测数据判断所述显示面板是否满足预设条件;当所述显示面板不满足预设条件时,则对所述制程设备或者所述显示面板进行异常处理;由于在制程前可以获取预估的测量数据,以提前预测显示面板是否异常,因此避免了后续制备得到不合格的产品,避免材料的浪费,提高了产品良率,降低了生产成本。

【附图说明】

图1为本发明实施例一制程设备的控制方法的流程图;

图2为本发明实施例二制程设备的控制方法的流程图;

图3为本发明制程设备的控制装置的结构示意图;

图4为本发明制程设备的控制装置的优选结构示意图。

【具体实施方式】

以下各实施例的说明是参考附加的图式,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语,例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。在图中,结构相似的单元是以相同标号表示。

本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象,而不是用于描述特定顺序。此外,术语“包括”和“具有”以及它们任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。

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