[发明专利]一种制程设备的控制方法及装置在审
申请号: | 201911120220.7 | 申请日: | 2019-11-15 |
公开(公告)号: | CN110808222A | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 温昕;佘迎松 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 设备 控制 方法 装置 | ||
本发明提供一种制程设备的控制方法及装置,该方法包括:获取当前制程阶段的制程设备的第一制程参数,并对所述第一制程参数进行训练,得到第一预测数据;根据所述第一预测数据判断所述显示面板是否满足预设条件;当所述显示面板不满足预设条件时,则对所述制程设备或者所述显示面板进行异常处理。本发明的制程设备的控制方法及装置,能够提高产品良率。
【技术领域】
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种制程设备的控制方法及装置。
【背景技术】
一台制程设备可以制备多个显示面板,多个显示面板也即为同一批次的显示面板。目前同一批次的显示面板均采用预先设定好的制程参数进行制程。
然而,目前只有在制程完毕时,才进行显示面板的检测,以判断面板是否合格,因而一旦检测的显示面板不合格时,无法补救,增加了生产成本且降低了产品良率。
因此,有必要提供一种制程设备的控制方法及装置,以解决现有技术所存在的问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种制程设备的控制方法及装置,能够提高产品良率以及降低生产成本。
为解决上述技术问题,本发明提供一种制程设备的控制方法,其中所述制程设备用于制备显示面板;
获取当前制程阶段的制程设备的第一制程参数,并对所述第一制程参数进行训练,得到第一预测数据;
根据所述第一预测数据判断所述显示面板是否满足预设条件;
当所述显示面板不满足预设条件时,则对所述制程设备或者所述显示面板进行异常处理。
本发明还提供一种制程设备的控制装置,所述制程设备用于制备显示面板;所述装置包括:
第一训练模块,用于获取当前制程阶段的制程设备的第一制程参数,并对所述第一制程参数进行训练,得到第一预测数据;
判断模块,用于根据所述第一预测数据判断所述显示面板是否满足预设条件;
处理模块,用于当所述显示面板不满足预设条件时,则对所述制程设备或者所述显示面板进行异常处理。
本发明的制程设备的控制方法及装置,包括获取当前制程阶段的制程设备的第一制程参数,并对所述第一制程参数进行训练,得到第一预测数据;根据所述第一预测数据判断所述显示面板是否满足预设条件;当所述显示面板不满足预设条件时,则对所述制程设备或者所述显示面板进行异常处理;由于在制程前可以获取预估的测量数据,以提前预测显示面板是否异常,因此避免了后续制备得到不合格的产品,避免材料的浪费,提高了产品良率,降低了生产成本。
【附图说明】
图1为本发明实施例一制程设备的控制方法的流程图;
图2为本发明实施例二制程设备的控制方法的流程图;
图3为本发明制程设备的控制装置的结构示意图;
图4为本发明制程设备的控制装置的优选结构示意图。
【具体实施方式】
以下各实施例的说明是参考附加的图式,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语,例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。在图中,结构相似的单元是以相同标号表示。
本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象,而不是用于描述特定顺序。此外,术语“包括”和“具有”以及它们任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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