[发明专利]一种薄膜拉伸横向对位机构及应用其的对位装置

权利要求书

1.一种薄膜拉伸横向对位机构，其特征在于，

所述薄膜拉伸横向对位机构(4)包括：中间连接板(402)、压膜装置(404)和薄膜拉伸驱动组件(405)；

所述中间连接板(402)上装有压膜装置活动端直线导轨模组(404E)；

所述压膜装置(404)包括：活动端压膜装置和固定端压膜装置；

两个所述压膜装置结构相同，所述压膜装置(404)包括：压膜定块(404A)、压膜动块(404B)、压膜动块动力装置(404C)、压膜动块直线导轨模组(404D)；

压膜动块直线导轨模组(404D)被固定在压膜定块(404A)上；

所述压膜动块动力装置(404C)驱动所述压膜动块(404B)在所述压膜动块直线导轨模组(404D)上滑动；

固定端压膜装置的压膜定块(404A)被固定在中间连接板(402)上；

活动端压膜装置的压膜定块(404A)在薄膜拉伸驱动组件(405)的驱动下沿压膜装置活动端直线导轨模组(404E)的长度方向移动；

所述薄膜拉伸横向对位机构还包括：底部直线导轨模组(401)和横向对位驱动组件(403)；

所述横向对位驱动组件(403)驱动所述中间连接板(402)在所述底部直线导轨模组(401)上滑动。

2.一种等间距芯片阵列巨量转移的对位装置，其特征在于，所述等间距芯片阵列巨量转移的对位装置包括：机座(1)、目标基板(2)、柔性龙门(3)、权利要求1所述的薄膜拉伸横向对位机构(4)和焊盘(5)；

所述目标基板(2)放置在所机座(1)上，所述焊盘(5)放置在目标所述基板(2)上；

所述的柔性龙门(3)包括：两条平行布置的直线模组(301)和框架横梁组件(302)；

直线模组(301)被固定在机座(1)上，且被分别布置在目标基板(2)的平面方向上的上侧和下侧；

直线模组(301)包括：直线电机(301A)、小平台(301B)和直线导轨模组(301D)；其中，直线导轨模组(301D)与机座(1)连接，直线电机(301A)驱动小平台(301B)在直线导轨模组(301D)上运动；

所述框架横梁组件(302)包括：旋转轴承(302C)、两个旋转平台(302A)、两条平行布置的横梁(302B)；其中，两个旋转平台(302A)分别通过旋转轴承(302C)与小平台(301B)连接，每条横梁(302B)均一端固定在旋转平台(302A)上，另一端通过直线导轨滑块安装在另一旋转平台(302A)上；

所述薄膜拉伸横向对位机构(4)通过底部直线导轨模组(401)安装在所述框架横梁组件(302)的平行布置的横梁(302B)底部。

3.根据权利要求2所述的等间距芯片阵列巨量转移的对位装置，其特征在于，所述小平台(301B)包括：刚性框架(301B1)、柔性铰链(301B2)、核心运动平台(301B3)；

其中，核心运动平台(301B3)通过柔性铰链(301B2)与所述刚性框架(301B1)连接。

4.根据权利要求3所述的等间距芯片阵列巨量转移的对位装置，其特征在于，所述小平台(301B)的核心运动平台(301B3)与刚性框架(301B1)之间的柔性铰链(301B2)为对称布置，且所述小平台(301B)为一体式加工制造。

5.根据权利要求2-4任一项所述的等间距芯片阵列巨量转移的对位装置，其特征在于，所述直线模组(301)还包括：模组底座(301C)；

直线导轨模组(301D)连接到模组底座(301C)上，模组底座(301C)与机座(1)相连。