[发明专利]一种离子束入射角度确定方法及装置

说明书

本发明实施例提供了一种离子束入射角度确定方法及装置，方法包括：获取放置在工作台上的待镀膜工件的深度图像及彩色图像；对所述彩色图像进行边缘检测，确定所述彩色图像中的边缘像素点；确定所述边缘像素点在所述深度图像中对应的像素值；根据所述边缘像素点对应的像素值及所述待镀膜工件的尺寸，确定所述离子束入射角度。应用本发明实施例，可以确定离子束入射角度，无需工作人员手动设置，可以提高离子束镀膜的精准度及均匀度，避免靶材浪费。

技术领域

本发明涉及离子束镀膜技术领域，特别是涉及一种离子束入射角度确定方法及装置。

背景技术

离子束溅射镀膜技术作为近几十年来发展起来的一种新兴的光学镀膜技术，具有附着力强、膜层稳定、覆盖性好等优点。目前，离子束溅射镀膜技术已经成为制备高精密、低损耗光学薄膜的常用技术手段。

在目前的离子束溅射镀膜技术中，工作人员首先根据待镀膜工件表面的形状调整离子束入射角度，然后采用能量为0.1～5keV的离子束轰击靶材，将靶材原子击出，令其沉积到待镀膜工件的表面，在待镀膜工件表面形成一层薄膜。

在现有的离子溅射镀膜技术中，离子束入射角度是人为调整的，难以保证准确性，这导致离子束镀膜的精准度降低，很可能会造成镀膜不均匀、靶材原子沉积到工件以外区域等问题。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种离子束镀膜方法、装置及电子设备，以提高离子束镀膜的精准度。具体技术方案如下：

第一方面，本发明实施例提供了一种离子束入射角度确定方法，所述方法包括：

获取放置在工作台上的待镀膜工件的深度图像及彩色图像；

对所述彩色图像进行边缘检测，确定所述彩色图像中的边缘像素点；

确定所述边缘像素点在所述深度图像中对应的像素值；

根据所述边缘像素点对应的像素值及所述待镀膜工件的尺寸，确定所述离子束入射角度。

可选的，在所述确定所述边缘像素点在所述深度图像中对应的像素值的步骤之前，所述方法还包括：

对所述深度图像进行二值化处理，得到二值化处理后的深度图像；

标记二值化处理后的深度图像中像素值为0的像素点，作为目标像素点；

将所述目标像素点周围预设数量像素点的有效像素值的平均值，确定为该目标像素点的像素值，得到处理后的深度图像，其中，所述有效像素值为非0的像素值。

可选的，在所述确定所述边缘像素点在所述深度图像中对应的像素值的步骤之前，所述方法还包括：

对所述深度图像进行去噪处理，得到去噪处理后的深度图像。

可选的，所述根据所述彩色图像的图像特征进行边缘检测，确定所述彩色图像的边缘像素点的步骤，包括：

将所述彩色图像输入边缘检测模型，根据所述彩色图像的图像特征确定所述彩色图像中的边缘像素点，其中，所述边缘检测模型包括所述彩色图像的图像特征及所述边缘像素点之间的对应关系。

可选的，所述确定所述边缘像素点在所述深度图像中对应的像素值的步骤，包括：

确定每个所述边缘像素点的预设邻域所包括的像素点，作为参考像素点，其中，所述预设邻域为以边缘像素点为中心的预设大小的正方形区域；

基于每个所述边缘像素点与对应的所述参考像素点之间的亮度差异、颜色值差异以及距离，确定该边缘像素点与对应的所述参考像素点之间的总差异；

基于每个边缘像素对应的所述总差异以及所述参考像素点的像素值，确定每个边缘像素点对应的像素值。