[发明专利]直动机构、平衡装置以及机床

权利要求书

1.一种直动机构，其特征在于，具备：

轴；

基座部件，其具有上述轴能够插通的贯通孔；

静压轴承，其设置在配置于上述贯通孔的上述轴与上述基座部件之间，通过向上述轴引导加压流体来相对于上述基座部件能够滑动地支撑上述轴；以及

环状部件，其设置在上述静压轴承与上述基座部件之间，并利用弹性来支撑上述静压轴承。

2.根据权利要求1所述的直动机构，其特征在于，

在上述静压轴承及上述基座部件的至少一方形成有槽，并在上述槽的内部配置上述环状部件。

3.一种平衡装置，具有权利要求1或2所述的直动机构，减少对能够沿导向轴移动的滑块作用的重力，其特征在于，具备：

缸筒，其以覆盖上述贯通孔的一方开口侧的方式固定于上述基座部件，并具有从上述开口突出的上述轴插入的内部空间；以及

调节器，其设于与上述缸筒的上述内部空间连通的配管，将上述缸筒的上述内部空间内的压缩气体的气压调整为预定压力，

上述轴沿上述导向轴设置，

上述基座部件固定于上述滑块，并与上述滑块连动地移动。

4.一种机床，具有权利要求3所述的平衡装置，其特征在于，

具备上述导向轴、上述滑块、以及使上述滑块沿上述导向轴移动的驱动部。

5.根据权利要求4所述的机床，其特征在于，

上述驱动部是线性马达。