[发明专利]一种用于电子屏幕的自洁疏水膜层的制备方法

说明书

一种用于电子屏幕的自洁疏水膜层及其制备方法，属于自洁疏水薄膜技术领域。本申请解决现有制备自洁疏水膜层方法复杂且对设备和工艺要求高等问题。本发明使用原子层沉积技术在玻璃表面沉积Al₂O₃和TiO₂复合膜层结构。其中原子层间Al‑O‑Ti键、Al‑O‑Ti键能使膜层结合紧密，不仅解决非晶态氧化铝随薄膜厚度的增加产生细小裂纹，从而导致薄膜对水和氧气的阻隔性变差的难题，也解决氧化钛膜层与基底结合力不足的问题。该复合膜层是集可见光区的高透射率、红外区高反射率和高稳定性于一体超薄薄膜，具有良好的疏水特性，疏水角可达到130°～150°，其透过率也可高达90％～95％，在电子屏幕等领域有极为广阔的应用前景。

技术领域

本发明涉及一种用于电子屏幕的自洁疏水膜层及其制备方法，属于疏水自洁薄膜技术领域。

背景技术

自20世纪70年代以来，荷叶的自洁效果引起了人们很大的兴趣。荷叶表面微米-纳米微观结构和低表面能的共同作用能够赋予其表面超疏水性能。鉴于超疏水材料较强排斥水效应的存在，常见的腐蚀、结冰、氧化等现象在其表面上受到抑制，使其可降低污染物吸附、防腐蚀、抗污染等多种独特性能，有较强的自清洁功能，在工业和日常生活中具有广阔的应用前景。

目前已知的制备疏水自洁膜层的方法主要有模板法、气相沉积法、溶胶-凝胶法等，但这些方法多数存在对设备和工艺要求过高等问题。因此提供一种用于电子屏幕的自洁疏水膜层及其制备方法是十分必要的。

发明内容

本发明为了解决现有制备疏水自洁膜层的方法复杂且对设备和工艺要求过高等问题，提供了一种用于电子屏幕的自洁疏水膜层及其制备方法。

本发明的技术方案：

一种用于电子屏幕的自洁疏水膜层及其制备方法，该方法的操作步骤为：

步骤1，对玻璃基底进行清洗；

步骤2，将清洗后的玻璃基底使用氮气吹干，然后放入原子层沉积仪的沉积腔体内，将沉积腔体内抽至4×10^-3Torr～6×10^-3Torr，再通入载气至腔体压力为0.1Torr～0.2Torr，沉积腔体内温度为150℃～200℃；然后在玻璃基底表面的进行膜层的原子层周期沉积生长，获得镀有金属氧化物膜层的玻璃。

优选的：所述的金属氧化物膜层厚度为30nm～60nm。

优选的：所述的步骤1对玻璃基底进行清洗的操作过程为：依次使用玻璃清洗液、去离子水、无水乙醇在超声波清洗机中，超声频率均为30KHz～50KHz，超声时间均为20min～30min，然后浸入无水乙醇中存待用。

最优选的：所述的玻璃清洗液为中性镀膜玻璃清洗液。