[发明专利]一种薄膜真空计在审
| 申请号： | 201911136987.9 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110702301A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 张心强;靳毅;齐英;蔺宇;陈林 | 申请（专利权）人： | 川北真空科技(北京)有限公司;中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01L19/00 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 102200 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸气剂 参考压力 电热元件 腔内 薄膜真空计 悬置 内置电热元件 部件接触 导线连接 加热过程 加热效率 检测设备 温度过高 支撑作用 内置 加热 激活 伸出 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜真空计，其特征在于，包括：
外壳(1)，内部具有参考压力腔(2)；
导线(4)，一端伸至于所述外壳(1)的参考压力腔(2)内，另一端伸出所述外壳(1)；
吸气剂(5)，悬置在所述参考压力腔(2)内；所述吸气剂(5)内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线(4)连接。
2.根据权利要求1所述的薄膜真空计，其特征在于，所述电热元件为加热丝(3)或加热片。
3.根据权利要求2所述的薄膜真空计，其特征在于，所述加热丝(3)为保持螺旋的形状。
4.根据权利要求1所述的薄膜真空计，其特征在于，所述吸气剂(5)与所述外壳(1)的内壁之间保持均匀的间隔设置。
5.根据权利要求1所述的薄膜真空计，其特征在于，所述吸气剂(5)悬置在所述参考压力腔(2)的上下方向的中间。
6.根据权利要求1所述的薄膜真空计，其特征在于，所述导线(4)为刚性导线。
7.根据权利要求1所述的薄膜真空计，其特征在于，所述导线(4)朝向远离所述参考压力腔(2)内部的薄膜片(6)的方向向外伸出。
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