[发明专利]一种薄膜真空计

说明书

本发明提供一种薄膜真空计，属于检测设备技术领域，包括：外壳，内部具有参考压力腔；导线，一端伸至于所述外壳的参考压力腔内，另一端伸出所述外壳；吸气剂，悬置在所述参考压力腔内；所述吸气剂内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线连接。本发明的薄膜真空计，吸气剂悬置在参考压力腔内，在对吸气剂进行激活加热的过程中，吸气剂不与其他部件接触，因此可避免在对吸气剂加热过程中造成的其他部件温度过高的问题；并且，在吸气剂内内置电热元件，使电热元件的热量直接作用于吸气剂，使吸气剂的加热效率更高，另外，内置在吸气剂内的电热元件还可以对吸气剂起到支撑作用。

技术领域

本发明涉及检测设备技术领域，具体涉及一种薄膜真空计。

背景技术

真空计是测量真空度或气压的仪器，是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可以将真空计分为主要的三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

其中，薄膜真空计为利用力学性能的真空计，薄膜真空计的核心部件为一片径向性辐射拉伸应力状态的膜片，该膜片将外压力测试压力腔体与参考压力腔隔开，参考压力腔内压力值恒定，测试压力腔室中压力的变化会产生两个腔体压差的变化，压差的变化会导致膜片偏移，膜片偏移会产生电容值的变化，从成形成电容和压力变化对应关系。因此，参考压力腔内的气压为计算的基础，气压值的恒定直接决定了压差传感器的寿命和精度。

目前，为了使薄膜真空计的参考压力腔内的设定气压进行维持，参考压力腔内通常放置外加热型吸气剂来维持真空，在封接前加热烘烤激活吸气剂，激活完后进行电路组装和调试。如图2所示，为现有技术中的一种薄膜真空计，该薄膜真空计在外壳上需设置用于安装吸气剂的安装孔，该安装孔与参考压力腔连通。吸气剂设置在吸气剂外壳8内，吸气剂外壳8安装在上述安装孔上，并使吸气剂可与参考压力腔连通。在吸气剂外壳的外部设置有加热器9，工作时，加热器9上的热量通过吸气剂外壳8将热量传导到吸气剂上，从而激活吸气剂，使吸气剂对参考压力腔的压力进行调节。

然而，上述方案中，吸气剂激活时加热器温度至少在450℃以上方能使得吸气剂发挥最好的效果，在吸气剂激活时间内，由于热传传递(传导、辐射、对流)的作用，使得传感器的外壳局部至少会达到250℃，对信号输出的端子及电极引线会造成一定影响。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的薄膜真空计在激活吸气剂时容易导致传感器的外壳温度过高的缺陷，从而提供一种可在较低温度下进行吸气剂激活的薄膜真空计。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种薄膜真空计，包括：

外壳，内部具有参考压力腔；

导线，一端伸至于所述外壳的参考压力腔内，另一端伸出所述外壳；

吸气剂，悬置在所述参考压力腔内；所述吸气剂内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线连接。

作为优选方案，所述电热元件为加热丝或加热片。

作为优选方案，所述加热丝为保持螺旋的形状。

作为优选方案，所述吸气剂与所述外壳的内壁之间保持均匀的间隔设置。

作为优选方案，所述吸气剂悬置在所述参考压力腔的上下方向的中间。

作为优选方案，所述导线为刚性导线。

作为优选方案，所述导线朝向远离所述参考压力腔内部的薄膜片的方向向外伸出。

本发明技术方案，具有如下优点：