[发明专利]蒸镀装置以及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

具有多个喷射喷嘴的蒸镀源，所述多个喷射喷嘴以直线状且等间隔地配置，从喷射口喷射蒸镀材料；

基板保持部，与所述多个喷射喷嘴的列平行地保持基板；以及

控制板，相对于所述基板垂直地配置，对从所述多个喷射喷嘴喷射的所述蒸镀材料的蒸镀区域进行控制，

所述基板、或者所述多个喷射喷嘴与所述控制板的组合一边维持所述基板的平行状态一边相对于所述多个喷射喷嘴的列沿着垂直方向移动，

在将相邻的所述喷射喷嘴的喷射口间的距离设为P的情况下，从所述基板、或者所述多个喷射喷嘴与所述控制板的组合移动的方向观察时的从各喷射喷嘴相对于所述基板的蒸镀量的分布曲线实质上是底边的长度为2P的相同的等腰三角形。

2.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

具有多个喷射喷嘴的蒸镀源，所述多个喷射喷嘴以直线状且等间隔地配置，从喷射口喷射蒸镀材料；

基板保持部，与所述多个喷射喷嘴的列平行地保持基板；以及

控制板，相对于所述基板垂直地配置，对从所述多个喷射喷嘴喷射的所述蒸镀材料的蒸镀区域进行控制，

所述基板、或者所述多个喷射喷嘴与所述控制板的组合一边维持所述基板的平行状态一边相对于所述多个喷射喷嘴的列沿着垂直方向移动，

所述控制板具有：

一对第一控制板，以夹着所述多个喷射喷嘴的列的方式平行地配置；以及

多个第二控制板，分别配置在相邻的所述多个喷射喷嘴之间，

在将相邻的所述喷射喷嘴的喷射口间的距离设为P、所述一对第一控制板间的距离设为L、且tanθ＝L/P的情况下，

在从与所述基板垂直的方向观察时，所述第二控制板以相邻的所述喷射喷嘴的喷射口间的中点为中心相对于所述喷射喷嘴的列倾斜角度θ配设，

在将所述喷射喷嘴的喷射口与所述基板的距离设为T的情况下，

从所述基板、或者所述多个喷射喷嘴与所述控制板的组合移动的方向观察时的所述第二控制板的截面形状，为与将相邻的所述喷射喷嘴的喷射口间作为底边且高度为T的等腰三角形的两个斜边内接的形状，

在将所述第二控制板的截面形状中的从所述等腰三角形的底边到内接点的高度设为T’的情况下，

从与所述基板垂直的方向观察时的第二控制板的长度为(T’/T)(P²+L²)^1/2以上且(P²+L²)^1/2以下。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述多个第二控制板相互平行地配置。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸镀源还具有多个共蒸镀用喷射喷嘴，所述多个共蒸镀用喷射喷嘴以分别夹着所述多个喷射喷嘴的方式与所述第二控制板平行地配置。

5.一种蒸镀方法，其特征在于，

包括使用权利要求1至4中任一项所述的蒸镀装置进行蒸镀的工序。

6.一种蒸镀方法，其特征在于，

包括使用权利要求2至4中任一项所述的蒸镀装置进行蒸镀的工序，

在将所述蒸镀工序中的所述蒸镀材料向所述基板的最小入射角设为α的情况下，

满足tanα＝T/{P²+(L/2)²}^1/2。