[发明专利]光学构件及光学构件的制造方法

说明书

本发明的课题在于提供通过改善含有SiO₂作为主成分的最上层的盐水引起的溶解剥离性而不存在经时引起的对下层的分光反射率的影响、不存在与其相伴的重影、眩光的发生的、耐盐水性优异的光学构件及其制造方法。本发明的光学构件是在基板上具有电介质多层膜的光学构件，其特征在于，最上层的正下层为含有SiO₂、MgF₂或Al₂O₃中的任一者的层、或者包含这些材料的混合物含有层，并且最上层为以SiO₂作为主成分、至少含有Cr或Ti中的任一种元素的金属氧化物层。

技术领域

本发明涉及光学构件及光学构件的制造方法，更详细地说，涉及改善含有SiO₂作为主成分的最上层的盐水引起的溶解剥离性而由此不存在环境劣化引起的对下层的分光反射率的影响、与其相伴的重影(ゴースト)、眩光的发生的、耐盐水性优异的光学构件等。

背景技术

为了援助车辆的驾驶，进行了将照相机搭载于车辆。更具体地，将拍摄车辆的后方、侧方的照相机搭载于汽车的车体，通过将采用该照相机拍摄的影像显示在驾驶者可看到的位置，减少死角，由此能够有助于安全驾驶。

多数情况是将车载照相机安装于车外，对于使用的透镜，对于耐环境性的保证要求严格。例如，在对透镜的盐水喷雾试验中，如果作为位于透镜表面的防反射层的成分的SiO₂在盐水中溶解而由此分光反射率变化，则成为重影、眩光的发生的原因。

因此，对于透镜最上层，优选形成以低折射率材料作为主成分、对下层的分光反射率影响小的最上层，如果是20nm以上的层厚的比较厚的最上层，则防反射层的分光反射率变化，因此希望形成尽可能为薄膜的最上层，如果可能，形成层厚为15nm以下的最上层，特别是10nm以下的最上层。

作为具有电介质多层膜的薄膜的光学元件，公开有如下技术：将Al₂O₃含有层与SiO₂含有层多个交替地层叠、进而作为最上层将含有SiO₂的层层叠(例如参照专利文献1。)。

但是，如果最上层只是含有SiO₂的层，在上述盐水喷雾试验中，由于位于表面的SiO₂在盐水中溶解，分光反射率变化，成为重影、眩光的发生的原因，问题没有解决。

另一方面，从耐久性的观点考虑，作为致密的最上层的成膜手段，已知除了蒸镀法以外还有使用离子辅助沉积(Ion Assisted Deposition)(以下也简称为“IAD”。)法的成膜技术(例如参照专利文献2和专利文献3。)。

上述IAD法是在成膜中使离子具有的高动能发挥作用而形成高密度的膜且提高膜与基材的密合力的方法，优选作为提高最上层的耐久性的手段来应用。

但是，就使用上述IAD法的蒸镀法而言，如果应用于上述最上层所要求的膜极薄的层形成，则在装置内周向的层厚没有变得均一。另外，在使最上层材料为混合物的情况下，产生受限于蒸汽压接近的材料的问题，以所期望的材料比、层厚来形成最上层是困难的。

因此，期待着如下的光学构件的出现：虽然在透镜最上层以作为低折射率材料的SiO₂为主成分，但是在盐水喷雾试验中不存在该SiO₂含有层的溶解剥离引起的分光反射率的变化、重影、眩光的发生，耐盐水性优异。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-074931号公报

专利文献2：日本特开2003-221663号公报

专利文献3：国际公开第2015/030015号

发明内容

发明要解决的课题