[发明专利]去蜡溶液取片设备及方法

权利要求书

1.去蜡溶液取片设备，包括支撑架，其底部托有烤盘，其特征在于，所述烤盘上设定位柱，内置定位桩的蜡液槽可卡装在所述定位柱上，待晶圆去蜡的研磨盘设在蜡液槽的定位桩上，所述支撑架顶部设有旋转手臂，旋转手壁转动连接机箱，机箱内设有伺服升降模组驱动装置以及控制装置，料盒可拆卸的安装在伺服升降模组伸出机箱部分的下部。

2.根据权利要求1所述去蜡溶液取片设备，其特征在于，所述控制装置包括控制伺服升降的升降开关和烤盘加热开关。

3.根据权利要求1所述的去蜡溶液取片设备，其特征在于，所述料盒为三侧挡板组成，所述料盒从下至上至少有两层存放槽，所述存放槽上方设有加强板。

4.根据权利要求3所述的去蜡溶液取片设备，其特征在于，所述存放槽上设有防护结构或加设防滑条。

5.根据权利要求3所述的去蜡溶液取片设备，其特征在于，左右挡板上设多对对称环形孔。

6.一种去蜡溶液取片方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）、将需要进行晶圆去蜡的研磨盘依定位桩放置于蜡液槽中，蜡液槽整体依定位柱置于烤盘，打开烤盘加热开关进行去蜡；

2）、去蜡完成后，将料盒依定位卡口放置于伺服升降模组底部，转动旋转臂使料盒处于需要取片的晶圆侧上方;按动下降按钮，料盒将自动降至对应高度，微调旋转臂使料盒对准待取晶圆，用推具将晶圆推进料盒；

3）、重复步骤2直至所有晶圆均进入料盒， 按动上升按钮，料盒将自动升至对应高度；

4)、取下料盒投入下一道工序。