[发明专利]制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备

权利要求书

1.一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：至少包括第一镀膜腔（1）和第二镀膜腔（2）、横穿第一和第二镀膜腔的用于传输太阳能电池板的传输带（3），第一和第二镀膜腔内分别设有镀膜源，当太阳能电池板依次穿过第一和第二镀膜腔时，所述镀膜源对太阳能电池板双面镀制透明导电氧化物薄膜。

2.如权利要求1所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述第一镀膜腔（1）和第二镀膜腔（2）之间设有用以消除粉尘的除尘腔（12）。

3.如权利要求2所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述第一镀膜腔内，镀膜源位于传输带上方；所述第二镀膜腔内，镀膜源位于传输带下方。

4.如权利要求3所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述镀膜设备中同时集成有三个镀膜腔或以上时，镀膜源位于传输带上方的镀膜腔，排列在镀膜源位于传输带下方的镀膜腔前方。

5.如权利要求2所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述除尘腔（12）在连接第一镀膜腔（1）和第二镀膜腔（2）处设有电动隔板，以便将第一镀膜腔、除尘腔、第二镀膜腔分割成各自独立的腔室；除尘腔内部、且位于所述传输带（3）的上方设有静电除尘器（17）。

6.如权利要求5所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述除尘腔（12）顶部设有下气流产生器（11），底部设有出气端口（13）。

7.如权利要求6所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述除尘腔（12）内部、且位于所述传输带（3）的下方设有粉尘迷道（14）；在除尘腔的侧壁上交错伸出多块隔板，构成曲折的粉尘迷道。

8.如权利要求7所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述除尘腔（12）的底端设有粉尘集中腔（15），所述出气端口（13）位于粉尘迷道（14）和粉尘集中腔（15）之间。

9.如权利要求8所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述除尘腔（12）的侧壁上设有检修门。

10.如权利要求4所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述镀膜源包括溅射镀膜源及离子镀膜源,所述溅射镀膜源（4）采用靶材磁控溅射镀膜源、直流溅射镀膜源、交流溅射镀膜源、交流脉冲溅射镀膜源、射频交流溅射镀膜源中的一种；所述离子镀膜源（5）采用反应性等离子体沉积离子镀膜源、电子束蒸镀离子镀膜源中的一种。