[发明专利]加工装置及精密加工机床

权利要求书

1.一种加工装置，用于加工多层次微纳结构，其特征在于，包括宏动组件和微动组件，所述宏动组件包括基台、执行平台和多个联动件，所述多个联动件间隔连接于所述基台和所述执行平台之间，通过控制所述多个联动件配合控制所述执行平台相对所述基台移动，所述微动组件设于所述执行平台上；

所述微动组件包括连接件、三个伸缩件和刀具平台，所述刀具平台用于设置所述刀具，所述刀具平台包括第一表面、第二表面和第三表面，所述第一表面与第二表面连接，所述第三表面连接所述第一表面和第二表面，三个所述伸缩件的一端连接于所述连接件，以通过所述连接件连接所述执行平台，三个所述伸缩件的另一端分别连接至所述第一表面、所述第二表面和所述第三表面，相邻两个伸缩件的伸缩方向相垂直，三个所述伸缩件通过配合控制所述刀具平台的运动方向，所述连接件与所述第一表面相对的位置设有缺口，所述缺口用于避让所述刀具平台以便于所述刀具平台的移动。

2.如权利要求1所述的加工装置，其特征在于，所述连接件包括第一连接部、第二连接部和第三连接部，所述第一连接部和所述第二连接部位于同一平面，所述第三连接部位于的平面与所述第一连接部和第二连接部垂直，三个所述伸缩件远离所述刀具平台的一端分别连接于与其对应的所述第一连接部、所述第二连接部和所述第三连接部，所述连接件远离所述第一表面的面连接于所述执行平台上。

3.如权利要求2所述的加工装置，其特征在于，所述伸缩件包括连接的伸缩体和驱动器，所述驱动器连接于所述连接件，所述伸缩体连接于所述刀具平台，所述驱动器用于驱动所述伸缩体在所述伸缩方向移动。

4.如权利要求3所述的加工装置，其特征在于，所述驱动器为压电陶瓷驱动器，所述压电陶瓷驱动器背离所述连接件的一端与所述伸缩体连接。

5.如权利要求4所述的加工装置，其特征在于，所述微动组件还包括用于检测位移信息的位移传感器，所述位移传感器与所述刀具平台连接。

6.如权利要求5所述的加工装置，其特征在于，所述加工装置包括控制器，所述控制器与所述位移传感器和所述压电陶瓷驱动器电连接，用于控制所述加工装置定位。

7.如权利要求6所述的加工装置，其特征在于，所述刀具平台包括用于装配所述刀具的刀具安装部，所述刀具安装部设于所述刀具平台背向任一所述伸缩件的面上。

8.一种精密加工机床，其特征在于，包括第一运动组件和第二运动组件，所述第一运动组件和所述第二运动组件相对设置，所述第二运动组件包括支座和设于所述支座上的如权利要求1-7任一项所述的加工装置，所述刀具与所述第一运动组件相对设置。