[发明专利]一种多孔掺杂类金刚石薄膜制备方法

权利要求书

1.一种多孔掺杂类金刚石薄膜制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）在衬底上镀一层催化剂薄膜；（2）在镀有催化剂薄膜的衬底表面沉积掺硼金刚石薄膜，在沉积过程中，通入气体包括碳源、氢气和掺杂气体，所述碳源为甲烷、二甲醚和乙醇，其中乙醇为气态，甲烷、二甲醚和乙醇的体积比为3-6：0.8-2：0.5-1；沉积时间为0.5-1h；（3）将所得掺硼金刚石薄膜在空气氛围中进行煅烧，煅烧温度为700-800℃，最终得到厚度为3-6μm的多孔掺杂类金刚石薄膜；

氢气的流量为300-500sccm，掺杂气体的流量为20-50sccm，碳源流量为20-30sccm；

步骤（2）中进行沉积时，衬底表面的温度为700-800℃，沉积气压为4-6kPa；

碳源中的三种气体预先混合均匀；

所述催化剂薄膜的厚度为200-500nm；

所述催化剂的制备方法为：将硫酸亚锡分散在蒸馏水中，在搅拌情况下将过氧化氢水溶液缓慢滴入上述混合液中，将得到的混合物转移到聚四氟乙烯不锈钢高压釜内，在180-200℃下进行水热反应12-14h，冷却后离心分离，将所得固体分散在Ni(Ac)₂水溶液中，将所得混合液进行离心分离，所得固体物在450-550℃煅烧1-2h后，冷却即可；

在制备催化剂的过程中，采用超声分散；

所述过氧化氢水溶液中过氧化氢的浓度为30%；

在制备催化剂的过程中，水热反应完成后，离心分离所得固体用蒸馏水清洗。