[发明专利]成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造装置和制造方法

说明书

本发明提供用于在降低因颗粒、润滑剂引起的污染的同时，进一步改善基板与掩模之间的位置调整的精度的成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造装置和制造方法。成膜装置是用于隔着掩模在基板上对成膜材料进行成膜的成膜装置，包括：真空容器；基板支承部件，设在真空容器内，用于支承基板；掩模支承部件，设在真空容器内，用于支承掩模；磁悬浮载置台机构，设在真空容器内，能调整与基板支承部件的支承面平行的第1方向、与第1方向交叉且与基板支承部件的支承面平行的第2方向、和以与第1方向以及第2方向这两者交叉的第3方向为中心的旋转方向上的基板支承部件的位置；以及成膜源，设在真空容器内，用于收纳成膜材料并将成膜材料粒子化而放出。

技术领域

本发明涉及成膜装置、电子器件的制造装置、成膜方法以及电子器件的制造方法。

背景技术

有机EL显示装置(有机EL显示器)的应用领域不仅涉及智能手机、电视机、汽车用显示器，还广泛涉及VR-HMD(Virtual Reality Head Mount Display：虚拟实境头戴式显示器)等，特别是VR HMD中使用的显示器为了降低用户的眩晕而要求以高精度形成像素图案。

在有机EL显示装置的制造中，在形成构成有机EL显示装置的有机发光元件(有机EL元件：OLED)时，通过将从成膜装置的成膜源放出的成膜材料隔着形成有像素图案的掩模在基板上成膜，由此形成有机物层、金属层。

在这样的成膜装置中，为了提高成膜精度，在成膜工序之前，测量基板与掩模的相对位置，在相对位置偏移的情况下，使基板和/或掩模相对地移动来调整(对准)位置。

因此，现有的成膜装置包括与基板支承单元和/或掩模支承单元连结的对准载置台机构。对准载置台机构包括多个马达(例如，两个X方向的马达以及一个Y方向的马达)、和将来自这些马达的旋转驱动力转换为直线驱动力并向对准载置台传递的滚珠丝杠、线性引导件等。

专利文献1：日本特开2012-72478号公报

这样，在以往的成膜装置中，作为对准载置台机构，使用机械的动力源和动力转换部件，不容易进一步提高对准载置台的定位的精度。

另外，现有的对准载置台机构为了降低来自机械的动力源和动力转换部件的因颗粒、润滑剂引起的污染而设置于成膜装置的真空容器的外侧(大气侧)，由此，对准载置台与基板支承单元/掩模支承单元之间的距离变长，对准载置台的机械性驱动时的摆动放大地传递到基板支承单元/掩模支承单元，对准精度降低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于在降低因颗粒、润滑剂引起的污染的同时，进一步改善基板与掩模之间的位置调整的精度的技术。

用于解决课题的技术方案

本发明的第1方式的成膜装置，是用于隔着掩模在基板上对成膜材料进行成膜的成膜装置，其特征在于，该成膜装置包括：真空容器；基板支承部件，设置在所述真空容器内，用于支承基板；掩模支承单元，设置在所述真空容器内，用于支承掩模；磁悬浮载置台机构，设置在所述真空容器内，能够调整与所述基板支承部件的支承面平行的第1方向、与第1方向交叉且与所述基板支承部件的支承面平行的第2方向、和以与所述第1方向以及所述第2方向这两者交叉的第3方向为中心的旋转方向上的所述基板支承部件的位置；以及成膜源，设置在所述真空容器内，用于收纳成膜材料，并将所述成膜材料粒子化而放出。