[发明专利]成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法

说明书

本发明提供高效且高精度地进行对准时的基板与掩模间的接近或远离动作以及水平面内的相对位置调整动作的成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法。本发明的成膜装置是用于隔着掩模在基板上对成膜材料进行成膜的成膜装置，其特征在于，包括：真空容器；基板支承部件，设置在所述真空容器内，用于支承基板；掩模支承单元，设置在所述真空容器内，用于支承掩模；磁悬浮载置台机构，设置在所述真空容器内，用于调整所述基板支承部件的位置；以及掩模支承单元移动机构，用于使所述掩模支承单元移动，以使所述掩模支承单元相对于所述基板支承部件的支承面在垂直方向上接近或远离。

技术领域

本发明涉及成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法。

背景技术

有机EL显示装置(有机EL显示器)的应用领域不仅涉及智能手机、电视机、汽车用显示器，还广泛涉及VR-HMD(Virtual Reality Head Mount Display：虚拟实境头戴式显示器)等，特别是VR HMD中使用的显示器为了防止用户的眩晕而要求以高精度形成像素图案。

在有机EL显示装置的制造中，在形成构成有机EL显示装置的有机发光元件(有机EL元件；OLED)时，通过将从成膜装置的成膜源放出的成膜材料隔着形成有像素图案的掩模在基板上成膜，由此形成有机物层、金属层。

在这样的成膜装置中，为了提高成膜精度，测量基板与掩模的相对位置，在相对位置偏移的情况下，使基板和/或掩模相对地移动来调整(对准)位置。

专利文献1：日本特开2012-033468号公报

在这样的基板与掩模的对准时，重复进行使基板与掩模间的相对距离接近或远离的动作和调整水平面内的相对的位置偏移的动作。因此，在成膜装置中设置有用于使支承基板的部件和/或支承掩模的部件相互移动的驱动机构。

发明内容

本发明的目的在于，高效且高精度地进行对准时的基板与掩模间的接近或远离动作以及水平面内的相对位置调整动作。

用于解决课题的技术方案

本发明的一实施方式的成膜装置，是用于隔着掩模在基板上对成膜材料进行成膜的成膜装置，其特征在于，该成膜装置包括：真空容器；基板支承部件，设置在所述真空容器内，用于支承基板；掩模支承单元，设置在所述真空容器内，用于支承掩模；磁悬浮载置台机构，设置在所述真空容器内，用于调整所述基板支承部件的位置；以及掩模支承单元移动机构，用于使所述掩模支承单元移动，以使所述掩模支承单元相对于所述基板支承部件的支承面在垂直方向上接近或远离。

本发明的一实施方式的成膜方法，是用于隔着掩模在基板上对成膜材料进行成膜的成膜方法，其特征在于，该成膜方法包括：利用掩模支承单元支承被搬入到成膜装置内的掩模的步骤；利用基板支承部件支承被搬入到成膜装置内的基板的步骤；一边使所述掩模支承单元移动以相对于所述基板支承部件接近或远离，一边调整在与所述基板支承部件的支承面平行的面内所述基板与所述掩模之间的相对的位置偏移的对准步骤；以及将从成膜源飞散的成膜材料隔着所述掩模在所述基板上成膜的步骤，在所述对准步骤中，利用包括驱动用马达和将所述驱动用马达的旋转驱动力转换为直线驱动力并向所述掩模支承单元传递的驱动力传递机构在内的掩模支承单元移动机构，使所述掩模支承单元移动以相对于所述基板支承部件接近或远离，通过利用磁悬浮载置台机构调整所述基板支承部件的位置，来调整在与所述基板支承部件的支承面平行的面内的所述基板与所述掩模之间的相对的位置偏移。

本发明的一实施方式的电子器件的制造方法，其特征在于，使用所述成膜方法来制造电子器件。

发明效果

根据本发明，能够高效且高精度地进行对准时的基板与掩模间的接近或远离动作以及水平面内的相对位置调整动作。

附图说明

图1是电子器件的制造装置的一部分的示意图。