[发明专利]一种镍钒溅射靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201911164952.6 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN111004985B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 郭姗姗;曾浩;张巧霞;王焕焕;万小勇;陈畅;李勇军;陈明 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/10 | 分类号： | C22F1/10;C22C19/03;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 黄家俊 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种镍钒溅射靶材的制备方法，其特征在于，对镍钒铸锭依次进行
1）热锻造：热锻造保温温度为900-1300℃，热锻造保温时间为1-4h；热锻造方式包括模具锻造四个方向、自由锻三墩三拔、沿直径方向锻造成细棒，锻造完成后空冷；
2）退火：退火温度为800-1000℃，退火时间为1-2h，出炉空冷；
3）冷变形：总冷变形率为65-90%；冷变形方式包括轧制或墩粗后轧制，其中轧制的道次变形量为7-15%；
4）二次退火：二次退火温度为650-950℃，二次退火时间为1-3h，出炉空冷，得到镍钒溅射靶材；
所述镍钒溅射靶材中V的含量为7±0.7%，所述镍钒铸锭的纯度为99.9%-99.995%；
所述镍钒溅射靶材的晶粒度≤150μm，晶粒细小，分布均匀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研亿金新材料有限公司，未经有研亿金新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911164952.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
