[发明专利]一种冷轧退火炉加湿装置及其使用方法在审
申请号: | 201911170114.X | 申请日: | 2019-11-26 |
公开(公告)号: | CN110911312A | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 卢威;戴泽辉 | 申请(专利权)人: | 山东宏旺实业有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 广州知顺知识产权代理事务所(普通合伙) 44401 | 代理人: | 彭志坚 |
地址: | 276018 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 冷轧 退火炉 加湿 装置 及其 使用方法 | ||
1.一种冷轧退火炉加湿装置,包括退火炉本体(1),其特征在于:所述退火炉本体(1)的左侧固定连接有控制盒(2),所述控制盒(2)的顶部和底部均固定连接有位于退火炉本体(1)左侧的固定板(3),两个所述固定板(3)的左侧均螺纹连接有第一固定螺丝(4),所述控制盒(2)的左侧活动安装有门板(5),所述门板(5)的左侧固定安装有显示器(6),所述控制盒(2)的内腔底壁固定安装有报警器(8),所述控制盒(2)的内部设置有控制模块(7),所述退火炉本体(1)的左右两侧均固定连接有密封圈(9),所述退火炉本体(1)的右侧固定连接有支撑架(10),所述支撑架(10)的右侧螺纹连接有第二固定螺丝(11),所述支撑架(10)的顶部固定连接有放置架(12),所述放置架(12)的内部固定连接有储水箱(13),所述储水箱(13)的顶部固定连接有进水管(14),所述储水箱(13)内腔右侧壁的底端固定安装有液位传感器(15),所述储水箱(13)的内部固定连接有抽水管(16),所述抽水管(16)的底端固定安装有抽水头(17),所述抽水管(16)远离抽水头(17)的一端固定连接有三通接头(18),所述三通接头(18)的顶部和导流管(19)的一端固定连接,所述导流管(19)远离三通接头(18)的一端和抽液泵(20)的进液口固定连接,所述退火炉本体(1)的顶部固定安装有抽液泵(20),所述抽液泵(20)的出液口和排液管(21)的一端固定连接,所述排液管(21)远离抽液泵(20)的一端和三通接头(18)的左侧固定连接,所述排液管(21)的底部固定安装有位于退火炉本体(1)内部的雾化喷嘴(22),所述排液管(21)的外部套接有位于退火炉本体(1)内部的保温套(23),所述退火炉本体(1)的内腔顶壁固定安装有温度传感器(24),所述退火炉本体(1)的内腔顶壁固定安装有位于温度传感器(24)左侧的湿度传感器(25)。
2.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置,其特征在于,所述退火炉本体(1)左右两侧的顶端均开设有圆形通孔,且圆形通孔的内部固定连接有密封圈(9)。
3.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置,其特征在于,所述控制盒(2)和固定板(3)为一个整体,所述第一固定螺丝(4)的一端贯穿固定板(3)并延伸至退火炉本体(1)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置,其特征在于,所述门板(5)左侧的底端开设有散热口,门板(5)左侧的顶端开设有安装口。
5.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置,其特征在于,所述门板(5)的内部固定连接有层板,层板的顶部固定安装有控制模块(7)。
6.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置,其特征在于,所述支撑架(10)和放置架(12)为一个整体,支撑架(10)呈倒“L”状。
7.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置,其特征在于,所述抽水管(16)、三通接头(18)、导流管(19)、抽液泵(20)和排液管(21)连通,所述排液管(21)的外部和密封圈(9)的内部套接。
8.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置,其特征在于,所述雾化喷嘴(22)的数量为五个,且五个雾化喷嘴(22)等距离交叉分布在排液管(21)的外部。
9.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置,其特征在于,所述保温套(23)的底部等距离开设有五个穿孔,所述显示器(6)、控制模块(7)、报警器(8)、液位传感器(15)、抽液泵(20)、温度传感器(24)和湿度传感器(25)电连接。
10.一种冷轧退火炉加湿装置使用方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)在报警器(8)的内部预设一个报警触发温度和湿度的数值,利用温度传感器(24)感应退火炉本体(1)内的温度变化并传输给控制盒(2)内部的控制模块(7),控制模块(7)将数据转换之后出输给门板(5)上的显示器(6)进行显示,同时湿度传感器(25)感应退火炉本体(1)内的湿度变化并传输给控制盒(2)内部的控制模块(7),控制模块(7)将数据转换之后出输给门板(5)上的显示器(6)进行显示;
2)当温度传感器(24)传输温度和湿度数值超过预设数值后,控制模块(7)启动退火炉本体(1)顶部的抽液泵(20),抽液泵(20)产生吸力将储水箱(13)内部的液体经过抽水管(16)吸入,并将吸入的液体导入排液管(21)的内部,最后经过排液管(21)外部的雾化喷嘴(22)将液体呈雾状喷射在退火炉本体(1)的内部进行加湿,直至退火炉本体(1)内的温度降至报警器(8)内预设的数值,然后控制模块(7)关闭抽液泵(20);
3)如果在加湿的过程中退火炉本体(1)内的温度长时间无法降低,控制模块(7)会启动控制盒(2)内的报警器(8)发出警报,同时控制模块(7)控制抽液泵(20)增大转速,加快液体的流速和雾化喷嘴(22)喷出的水量。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造