[发明专利]超高真空分析检测装置的减振系统

权利要求书

1.超高真空分析检测装置的减振系统，包括分析检测装置、超高真空管道和真空抽送系统，所述分析检测装置的样品腔为超高真空环境，所述超高真空管道内设有样品传送装置，所述分析检测装置数量为多个，多个分析检测装置的样品腔之间通过超高真空管道连通，待检测样品由所述超高真空管道内的所述样品传送装置传递到所述分析检测装置的样品腔内，其特征在于：还包括气浮光学平台，所述气浮光学平台底部由多个气腿进行支撑，所述气浮光学平台横截面为蜂窝状结构，所述气浮光学平台为多个，所述分析检测装置和所述超高真空管道安装在气浮光学平台上方，所述真空抽送系统安装在气浮光学平台下方，所述真空抽送系统的部分结构与地面连接，所述超高真空管道上设置有快拆接口，所述超高真空管道中间设置有双波纹管连接段；所述真空抽送系统包括分子泵和离子泵，每个分析监测装置的相应样品腔单独配设一个离子泵，多个所述样品腔共用一个分子泵；每个所述分析检测装置分别独立设置在一个气浮光学平台上，相邻两气浮光学平台之间相互隔离不接触；所述快拆接口设置在相邻的分析检测装置之间的超高真空管道上。

2.根据权利要求1所述的超高真空分析检测装置的减振系统，其特征在于：所述样品腔内具有弹簧-电磁阻尼复合减振系统，所述弹簧-电磁阻尼复合减振系统包括外部框架、样品台支座、内部扫描样品台和电磁涡流阻尼栅格；所述外部框架包括上基座和下基板，所述上基座顶面与样品腔固定，底面均匀固定有4根向下延伸的支架管道，所述支架管道内均悬吊有弹簧，所述下基板固定在所述4根支架管道的下端，所述样品台支座通过所述弹簧悬吊在所述外部框架内，且所述样品台支座和所述下基板之间设置有所述电磁涡流阻尼栅格，所述内部扫描样品台设置在所述样品台支座上。

3.根据权利要求2所述的超高真空分析检测装置的减振系统，其特征在于：所述上基座和下基板均为圆形且直径相同。

4.根据权利要求1所述超高真空分析检测装置的减振系统，其特征在于：所述分析检测装置分别为摩擦过程声子探测组件、摩擦剪切过程分子结构取向探测组件、高灵敏度摩擦发射探测组件。

5.根据权利要求1所述超高真空分析检测装置的减振系统，其特征在于：在所述光学平台上还设置有烘烤加热盘。