[发明专利]超高真空分析检测装置的减振系统

说明书

本发明公开了一种超高真空分析检测装置的减振系统，其分析检测装置和所述超高真空管道安装在气浮光学平台上方，真空抽送系统安装在气浮光学平台下方，真空抽送系统的部分结构与地面连接，超高真空管道上设置有快拆接口，超高真空管道中间设置有双波纹管连接段，分子泵采用一拖三的方式，超高真空样品腔内具有弹簧‑电磁阻尼复合减振系统，通过上述复合、系统化减振，可降低装置的振动幅度，满足超高真空分析检测装置对振动幅度的要求。

技术领域

本发明涉及一种减振系统，具体涉及一种超高真空分析检测装置的减振系统，特别是一种应用于高分辨原位实时摩擦能量耗散测量系统中的超高真空分析检测装置中的减振系统。

背景技术

摩擦是物质世界普遍存在的现象，近年来超滑现象的发现引起了摩擦学、机械学、物理学乃至化学领域学者的高度关注，研究超滑现象的内在机理需要借助高分辨原位实时摩擦能量耗散测量系统。

超高真空分析检测装置是高分辨原位实时摩擦能量耗散测量系统重要组成部分，是进行样品超滑现象分析研究的重要场所，超高真空传样系统将不同的超高真空分析检测装置互联起来，使得待检测样品在超高真空的环境下传递到不同的分析检测装置中，从而进行不同类型的分析检测，传递效率高，实验效率高。通常，不同超高真空分析检测装置之间连接有超高真空管道，待检测样品在超高真空管道内运送到不同超高真空分析检测装置；各超高真空分析检测装置以及超高真空管道分别与真空泵连接，以形成真空环境。

但是，上述超真空系统中的一些机构，例如步进电机、制冷机、真空泵等，在工作过程中会产生振动，而振动会对部分分析检测装置的检测结果造成严重影响，因此，如何降低超高真空分析检测装置的振动成为亟需解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种超高真空分析检测装置的减振系统，以降低装置的振动幅度，满足超高真空分析检测装置对振动幅度的要求。

为了实现上述目的，本发明采取的技术方案如下：

本发明超高真空分析检测装置的减振系统，包括分析检测装置、超高真空管道和真空抽送系统，所述分析检测装置的样品腔为超高真空环境，所述超高真空管道内设有样品传送装置，所述分析检测装置数量为多个，多个分析检测装置的样品腔之间通过超高真空管道连通，待检测样品由所述超高真空管道内的所述样品传送装置传递到所述分析检测装置的样品腔内，还包括气浮光学平台，所述气浮光学平台底部由多个气腿进行支撑，使得气浮光学平台与地面之间具有一定距离，气浮光学平台起到横向减振作用，气腿起到纵向减振作用；所述气浮光学平台横截面为蜂窝状结构，所述气浮光学平台为多个，所述分析检测装置和所述超高真空管道安装在气浮光学平台上方，所述真空抽送系统安装在气浮光学平台下方，使得整个系统重心下移，稳定性高，所述真空抽送系统的部分结构与地面连接，从而进行进一步减振，所述超高真空管道上设置有快拆接口，所述超高真空管道中间设置有双波纹管连接段，双波纹管起到减振作用，且可抵消大气压力，不变形。

进一步地，所述样品腔内具有弹簧-电磁阻尼复合减振系统，所述弹簧- 电磁阻尼复合减振系统包括外部框架、样品台支座、内部扫描样品台和电磁涡流阻尼栅格；所述外部框架包括上基座和下基板，所述上基座顶面与样品腔固定，底面均匀固定有4根向下延伸的支架管道，所述支架管道内均悬吊有弹簧，所述下基板固定在所述4根支架管道的下端，所述样品台支座通过所述弹簧悬吊在所述外部框架内，从而隔绝振动从腔体向样品台支座传递的通道，且所述样品台支座和所述下基板之间设置有所述电磁涡流阻尼栅格，其与弹簧系统相配合可增加振动衰减的速度，并防止系统产生共振，所述内部扫描样品台设置在所述样品台支座上。所述上基座和下基板均为圆形且直径相同。

进一步地，所述真空抽送系统包括分子泵和离子泵，每个分析监测装置的相应样品腔单独配设一个离子泵，多个所述样品腔共用一个分子泵。