[发明专利]冷却管组件、冷却装置和等离子体处理设备有效
| 申请号： | 201911174960.9 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112951695B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 龚岳俊;黄允文 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 包姝晴;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷却管 组件 冷却 装置 等离子体 处理 设备 | ||
1.一种具有释放静电功能的冷却装置，其特征在于，包括：
基板，其中设置有冷却通道；
射频屏蔽板，设置在所述基板的下方；
冷却管连接器，设置在所述射频屏蔽板中，在所述射频屏蔽板的上表面和下表面分别具有所述冷却管连接器的第一端和第二端；
高电阻冷却管，所述高电阻冷却管的一端与所述基板中的所述冷却通道连接，所述高电阻冷却管的另一端与所述冷却管连接器的第一端连接；通过所述高电阻冷却管的高电阻特性避免因静电电荷而产生电弧现象；以及
金属冷却管，所述金属冷却管的一端与所述冷却管连接器的第二端连接，所述金属冷却管的另一端接地。
2.如权利要求1所述的具有释放静电功能的冷却装置，其特征在于，所述基板与射频供电模组连接。
3.如权利要求2所述的具有释放静电功能的冷却装置，其特征在于，所述射频屏蔽板与所述基板之间形成射频耦合区域。
4.如权利要求1所述的具有释放静电功能的冷却装置，其特征在于，流体在所述高电阻冷却管、所述金属冷却管和所述冷却通道中流动。
5.如权利要求4所述的具有释放静电功能的冷却装置，其特征在于，所述流体为水或热传导液。
6.一种具有释放静电功能的冷却装置，其特征在于，包括：
基板，其中设置有冷却通道；
射频屏蔽板，设置在所述基板的下方；
冷却管连接器，设置在所述射频屏蔽板中，在所述射频屏蔽板的上表面和下表面分别具有所述冷却管连接器的第一端和第二端；
高电阻冷却管，所述高电阻冷却管的一端与所述基板中的所述冷却通道连接，所述高电阻冷却管的另一端与所述冷却管连接器的第一端连接；通过所述高电阻冷却管的高电阻特性避免因静电电荷而产生电弧现象；以及
第二冷却管，所述第二冷却管的一端与所述冷却管连接器的第二端连接，所述第二冷却管中的至少一个的内壁连结金属件，所述金属件接地。
7.如权利要求6所述的具有释放静电功能的冷却装置，其特征在于，所述基板与射频供电模组连接。
8.如权利要求7所述的具有释放静电功能的冷却装置，其特征在于，所述射频屏蔽板与所述基板之间形成射频耦合区域。
9.如权利要求6所述的具有释放静电功能的冷却装置，其特征在于，流体在所述高电阻冷却管、所述第二冷却管和所述冷却通道中流动。
10.如权利要求9所述的具有释放静电功能的冷却装置，其特征在于，所述流体为水或热传导液。
11.如权利要求6-10中的任一项所述的具有释放静电功能的冷却装置，其特征在于，所述第二冷却管为非金属冷却管。
12.一种具有释放静电功能的冷却管组件，其特征在于，包括：
冷却管连接器，具有第一端和第二端；
高电阻冷却管，所述高电阻冷却管的一端与冷却通道连接，所述高电阻冷却管的另一端与所述冷却管连接器的第一端连接；通过所述高电阻冷却管的高电阻特性避免因静电电荷而产生电弧现象；以及
金属冷却管，所述金属冷却管的一端与所述冷却管连接器的第二端连接，所述金属冷却管的另一端接地。
13.一种等离子体处理设备，其特征在于，包括：静电吸盘和权利要求1-10任意一项所述的具有释放静电功能的冷却装置，静电吸盘设置在基板之上以承载基片，当等离子体对所述基片进行处理时，所述冷却装置对基片进行温度调节。
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