[发明专利]气体喷淋装置以及化学气相沉积方法

权利要求书

1.一种气体喷淋装置，其特征在于，包括上下对应设置的通风系统和喷淋系统，所述喷淋系统和所述通风系统通过所述气体喷淋装置的缸体相连接；

其中，所述通风系统包括：侧通风通道、旋转机构以及气体挡风板，所述旋转机构与所述气体挡风板以及所述气体喷淋装置的缸体均不接触，所述气体挡风板通过螺丝固定在所述气体喷淋装置缸体上，且所述气体挡风板与所述气体喷淋装置缸体之间存在一定的间隔，所述旋转机构设置在所述气体挡风板的上方，所述旋转机构远离所述气体挡风板；

所述侧通风通道设置于所述气体喷淋装置缸体上端的侧方；

所述喷淋系统包括：喷淋头。

2.根据权利要求1所述的气体喷淋装置，其特征在于，所述喷淋头包括进气管以及设置于所述进气管下方的喷淋面板。

3.根据权利要求2所述的气体喷淋装置，其特征在于，所述旋转机构包括电机，所述电机设置在所述气体喷淋装置缸体的顶端，所述电机驱动所述旋转机构。

4.根据权利要求3所述的气体喷淋装置，其特征在于，所述旋转机构还包括旋转轴和扇叶。

5.根据权利要求4所述的气体喷淋装置，其特征在于，所述扇叶的数量为2片或3片或6片，所述扇叶的形状为长条形或镰刀型。

6.根据权利要求3所述的气体喷淋装置，其特征在于，所述气体喷淋装置还包括密封装置，所述密封装置的材料为磁流体或圆型密封圈。

7.一种化学气相沉积方法，其特征在于，包括以下方法：

将气体通过侧通风通道通入到气体喷淋装置的缸体内；所述气体喷淋装置包括上下对应设置的通风系统和喷淋系统，所述喷淋系统和所述通风系统通过所述气体喷淋装置的缸体相连接；

其中，所述通风系统包括：侧通风通道、旋转机构以及气体挡风板，所述旋转机构与所述气体挡风板以及所述气体喷淋装置缸体均不接触，所述气体挡风板通过螺丝固定在所述气体喷淋装置缸体上，且所述气体挡风板与所述气体喷淋装置缸体之间存在一定的间隔，所述旋转机构设置在所述气体挡风板的上方，所述旋转机构远离所述气体挡风板；

所述喷淋系统包括：喷淋头；

所述气体由所述气体喷淋装置内的旋转机构加速气体流动，将所述气体混合均匀；

所述气体经过所述旋转机构加速流动后，由喷淋系统将所述气体喷淋到基板上。