[发明专利]大尺寸芯片的键合线低弧键合方法在审
申请号: | 201911177620.1 | 申请日: | 2019-11-27 |
公开(公告)号: | CN110854094A | 公开(公告)日: | 2020-02-28 |
发明(设计)人: | 车勤 | 申请(专利权)人: | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/60 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 耿英 |
地址: | 215163 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 尺寸 芯片 键合线低弧键合 方法 | ||
本发明公开了大尺寸芯片的键合线低弧键合方法,对芯片表面与外引脚焊区之间互联的引线键合时,在引线上设置两个弯折弧度。本发明利用劈刀运行轨迹对引线线弧的影响,解决大尺寸芯片低弧、长跨距引线的键合问题。本发明可应用于含有台阶腔体的高密度电路组装,适用于芯片表面与外引脚焊区落差≤0.5mm、跨距≥3.2mm的低弧度、长跨距互连引线的键合。
技术领域
本发明涉及一种大尺寸芯片键合方法,属于组装键合工艺技术。
背景技术
随着电路集成度的提高,加工过程中出现了多种类型腔体立体组装的封装形式。当芯片粘接(组装)在基板的腔体内时,芯片的表面会略低于外壳引脚的键合区,因线弧的投影距离较长,这种电路就需要采用从低到高的低弧度实现芯片与外引线的互连,其主要难点在于引线跨距较大,弧度较低、间距相对较窄,而且低—高的键合模式(芯片高度低于外壳引脚键合区)与常见的高—低键合模式有很大不同,由于这种键合方式的线弧度偏高,若有多根键合线出现随机摆动,将会造成键合引线之间搭接。
集成电路封装的质量控制中,影响弧形的因素有很多,包括键合参数、键合线的线弧长度和高度,以及劈刀运行的轨迹等,在键合线投影长度不变的情况下,劈刀运行轨迹的变化对键合线的弧形、弧高以及线弧的一致性有较大影响。
发明内容
本发明的目的在于保持一定键合引线长度和浅腔的前提下,实现大尺寸芯片的键合线超低线弧键合,避免由于劈刀运行轨迹不合适带来的键合线摆动,导致电路短路的现象。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案如下:
一种大尺寸芯片的键合线低弧键合方法,其特征是,对芯片表面与外引脚焊区之间互联的引线键合时,在引线上设置两个弯折弧度。
进一步地,劈刀运行轨迹中包括两个可使引线上形成两个弯折弧度的弯折动作。
一种大尺寸芯片的键合线低弧键合方法,其特征是,对芯片表面与外引脚焊区之间互联的引线键合时,在引线上设置两个弯折弧度。
进一步地,劈刀运行轨迹中包括两个可使引线上形成两个弯折弧度的弯折动作。
进一步地,劈刀运行轨迹采用以下参数:
A:表示劈刀从第一键合点键合后第一次抬起高度;
B:表示劈刀反向运动行进的水平距离;
C:表示劈刀第二次抬起高度;
D:表示劈刀是否以一垂直提升能量提升至最高点,“0”表示否,“1”表示是;
E:表示劈刀从最高点水平正向行进距离;
H:表示从弧形最高点开始到弧形轨迹终端的行进速度百分比;
MAX Height:表示在第二键合点弧线的线尾拉紧度;
PZ:指第二键合点弧线线尾的高度。
进一步地,劈刀第二次抬起时,同时向反向偏转一设定角度θ。
进一步地,当劈刀按B值反向运动时,若与水平成一角度,采用I值表示该反向运动与水平的角度,I的取值范围为90~110度。
进一步地,D取值为“0”时,表示提升能量关闭,劈刀提升时非垂直向上。
进一步地,D取值为“1”时,表示提升能量打开,劈刀提升时垂直向上。
进一步地,芯片表面与外引脚焊区落差≤0.5mm、跨距≥3.2mm。
本发明所达到的有益效果:
本发明利用劈刀运行轨迹对引线线弧的影响,解决大尺寸芯片低弧、长跨距引线的键合问题。
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