[发明专利]大尺寸芯片的键合线低弧键合方法在审

专利信息
申请号: 201911177620.1 申请日: 2019-11-27
公开(公告)号: CN110854094A 公开(公告)日: 2020-02-28
发明(设计)人: 车勤 申请(专利权)人: 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心
主分类号: H01L23/49 分类号: H01L23/49;H01L21/60
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 耿英
地址: 215163 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 尺寸 芯片 键合线低弧键合 方法
【说明书】:

发明公开了大尺寸芯片的键合线低弧键合方法,对芯片表面与外引脚焊区之间互联的引线键合时,在引线上设置两个弯折弧度。本发明利用劈刀运行轨迹对引线线弧的影响,解决大尺寸芯片低弧、长跨距引线的键合问题。本发明可应用于含有台阶腔体的高密度电路组装,适用于芯片表面与外引脚焊区落差≤0.5mm、跨距≥3.2mm的低弧度、长跨距互连引线的键合。

技术领域

本发明涉及一种大尺寸芯片键合方法,属于组装键合工艺技术。

背景技术

随着电路集成度的提高,加工过程中出现了多种类型腔体立体组装的封装形式。当芯片粘接(组装)在基板的腔体内时,芯片的表面会略低于外壳引脚的键合区,因线弧的投影距离较长,这种电路就需要采用从低到高的低弧度实现芯片与外引线的互连,其主要难点在于引线跨距较大,弧度较低、间距相对较窄,而且低—高的键合模式(芯片高度低于外壳引脚键合区)与常见的高—低键合模式有很大不同,由于这种键合方式的线弧度偏高,若有多根键合线出现随机摆动,将会造成键合引线之间搭接。

集成电路封装的质量控制中,影响弧形的因素有很多,包括键合参数、键合线的线弧长度和高度,以及劈刀运行的轨迹等,在键合线投影长度不变的情况下,劈刀运行轨迹的变化对键合线的弧形、弧高以及线弧的一致性有较大影响。

发明内容

本发明的目的在于保持一定键合引线长度和浅腔的前提下,实现大尺寸芯片的键合线超低线弧键合,避免由于劈刀运行轨迹不合适带来的键合线摆动,导致电路短路的现象。

为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案如下:

一种大尺寸芯片的键合线低弧键合方法,其特征是,对芯片表面与外引脚焊区之间互联的引线键合时,在引线上设置两个弯折弧度。

进一步地,劈刀运行轨迹中包括两个可使引线上形成两个弯折弧度的弯折动作。

一种大尺寸芯片的键合线低弧键合方法,其特征是,对芯片表面与外引脚焊区之间互联的引线键合时,在引线上设置两个弯折弧度。

进一步地,劈刀运行轨迹中包括两个可使引线上形成两个弯折弧度的弯折动作。

进一步地,劈刀运行轨迹采用以下参数:

A:表示劈刀从第一键合点键合后第一次抬起高度;

B:表示劈刀反向运动行进的水平距离;

C:表示劈刀第二次抬起高度;

D:表示劈刀是否以一垂直提升能量提升至最高点,“0”表示否,“1”表示是;

E:表示劈刀从最高点水平正向行进距离;

H:表示从弧形最高点开始到弧形轨迹终端的行进速度百分比;

MAX Height:表示在第二键合点弧线的线尾拉紧度;

PZ:指第二键合点弧线线尾的高度。

进一步地,劈刀第二次抬起时,同时向反向偏转一设定角度θ。

进一步地,当劈刀按B值反向运动时,若与水平成一角度,采用I值表示该反向运动与水平的角度,I的取值范围为90~110度。

进一步地,D取值为“0”时,表示提升能量关闭,劈刀提升时非垂直向上。

进一步地,D取值为“1”时,表示提升能量打开,劈刀提升时垂直向上。

进一步地,芯片表面与外引脚焊区落差≤0.5mm、跨距≥3.2mm。

本发明所达到的有益效果:

本发明利用劈刀运行轨迹对引线线弧的影响,解决大尺寸芯片低弧、长跨距引线的键合问题。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心,未经中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911177620.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top