[发明专利]翻转装置和真空镀膜设备

权利要求书

1.一种翻转装置，其特征在于，所述翻转装置包括可翻转的翻转架、相对设置在所述翻转架上的两个第一夹紧机构、分别与两个所述第一夹紧机构连接的两个载台组件以及分别设置在两个所述载台组件上的两个第二夹紧机构，其中，

各所述载台组件均用于承载托盘；

两个所述第一夹紧机构用于分别向两个所述载台组件的四周边缘处施加压力，以将置于两个所述载台组件之间的两个托盘夹紧；

两个所述第二夹紧机构用于分别向置于两个所述载台组件上的两个所述托盘的指定位置施加压力，所述指定位置为与所述托盘上的基片相对应的位置。

2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，各所述载台组件均包括：

载台；

传输机构，设置在所述载台上，用于运送所述托盘。

3.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述传输机构包括传送带机构或者辊轴机构。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的翻转装置，其特征在于，各所述第一夹紧机构包括第一直线驱动源，所述第一直线驱动源位于所述载台组件的远离承载所述托盘的承载面一侧，并且所述直线驱动源的驱动轴垂直于所述承载面，且与所述载台组件固定连接。

5.根据权利要求1-3任意一项所述的翻转装置，其特征在于，各所述第二夹紧机构包括：

压紧板，所述压紧板的数量与所述托盘上的基片的数量相同，且一一对应地设置，并且各所述压紧板均位于所述载台组件的承载所述托盘的承载面所在一侧，且与所述承载面相互平行；

第二直线驱动源，用于驱动各所述压紧板沿垂直于所述承载面的方向移动。

6.根据权利要求5所述的翻转装置，其特征在于，各所述第二夹紧机构还包括高度调节组件，用于调节所述压紧板在初始位置时与所述托盘之间的间距。

7.根据权利要求6所述的翻转装置，其特征在于，所述高度调节组件包括：

固定板，与所述第二直线驱动源的驱动轴固定连接，且在所述固定板中设置有第一螺纹孔和第二螺纹孔，所述第一螺纹孔和第二螺纹孔的轴线均与所述压紧板相互垂直；所述第二螺纹孔为多个，且相对于所述第一螺纹孔的轴线对称分布；

压紧螺栓，与所述第一螺纹孔相配合，且所述压紧螺栓的一端与所述压紧板相抵；

多个固定螺栓，一一对应地与多个所述第二螺纹孔相配合，且各所述固定螺栓的一端与所述压紧板连接。

8.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述翻转装置还包括两个归正机构，分别设置在两个所述载台组件上，各所述归正机构均包括两个归正组件，且两个所述归正组件相对设置在平行于所述载台组件的承载所述托盘的承载面的两侧，用以将所述托盘固定在所述载台组件的对应所述承载面的位置处。

9.根据权利要求8所述的翻转装置，其特征在于，各所述归正组件包括：

第三直线驱动源，设置在所述载台组件上；

连接支架，与所述第三直线驱动源的驱动轴固定连接；

插销，所述插销的一端与所述连接支架固定连接，在所述第三直线驱动源的驱动下，所述插销的远离所述连接支架的另一端移入或移出所述托盘一侧的限位孔。

10.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述翻转装置还包括：

底架；

翻转驱动机构，设置在所述底架上，且与所述翻转架连接，用以驱动所述翻转架翻转，以使其中一所述载台组件的承载所述托盘的承载面朝上。

11.一种真空镀膜设备，包括进料台、处理腔室组以及出料台，其特征在于，所述真空镀膜设备还包括如权利要求1-10任意一项所述的翻转装置，用于使所述托盘所承载的基片的未加工面朝上。